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纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究

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毕业论文范文题目：纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究，论文范文关键词：纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究
纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：脉冲激光微加工技术作为精密加工、微结构制造领域的先进加工技术之一,具有非接触、污染少、精度高、加工效果好、加工范围广等特点,在MEMS制造、航空航天、医疗仪器等领域得到了广泛的应用。本文设计的纳秒脉冲激光微加工系统,主要包括上位机软件、纳秒脉冲激光器、（略..）光路机械结构、传动系统、控制系统、辅助系统等部分。光源采用的是波长为355nm的紫外纳秒脉冲激光器,脉冲宽度小于40ns,重复频率从1Hz到100kHz可调。设计的光路机械结构用于引导光束,并将激光束聚焦于加工样品的表面。传动系统是由步进电机驱动的二维运动平台,步进精度（文章此处忽略..）为625nm。控制系统采用上位机图形处理、下位机控制加工的设计方案,以DSP和FPGA为核心的控制电路控制二维平台的运动和激光器的动作,完成脉冲激光微加工的过程。相关加工实验表明,本系统能够实现线宽20~50um的加工,并且合适的激光能量、加工速度和重复频率有助于改（本文此处忽略..）善加工的质量。本论文完成的主要工作如下:1.在分析纳秒脉冲激光加工原理的基础上,完成了系统的总体方案设计。2.具体设计了纳秒脉冲激光微加工系统的光路和机械结构,完成了系统的搭建。3.完成了基于DSP和FPGA为核心的下位机控制系统设计,并制作调试了硬件电路。（此处忽略..）4.完成了系统软件程序的设计及调试,包括并口通讯、DSP数据处理、FPGA加工控制等程序。5.利用纳秒脉冲激光微加工系统进行相关加工实验。分析了不同加工参数对加工效果的影响,并初步进行了改善加工效果的实验研究。

以上为本篇毕业论文范文纳秒脉冲激光微加工系统的设计与研究的介绍部分。

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