高精度角度光学元件超光滑名义的加工跟检测技巧研究

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高精度角度光学元件超光滑名义的加工跟检测技巧研究

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毕业论文范文题目：高精度角度光学元件超光滑名义的加工跟检测技巧研究，论文范文关键词：高精度角度光学元件超光滑名义的加工跟检测技巧研究
高精度角度光学元件超光滑名义的加工跟检测技巧研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：跟着科学技巧的发展,对光学整机的名义毛糙度跟名义的面形精度提出了越来越高的请求。并且,跟着科学技巧的进一步发展,超光滑名义光学元件将会广泛利用在光学仪器、激光、空间天体探测等尖端科技范畴。针对超光滑名义的巨粗心义跟广阔的发展前景,目前已经呈现了浴法抛光、粒子束抛光、浮法抛光等各种比较进步的抛光方法,无论是面形精度还是名义（文章此处忽略..）毛糙度度已经达到了很高的加工程度。我国超光滑名义加工技巧的研究起步较晚,古典法还是我国目前广泛采取的一项超光滑名义的加工方法。本论文重要分为四大部分,第一部分具体介绍了超光滑名义加工的意思跟利用,国内外超光滑名义加工的发展情况跟多少种比较进步的超光滑名义的加工方法,超光滑名义的重要特点跟加工机理以及利用古典法加工超光滑名（本文此处忽略..）义的起因跟方法;第二部分具体分析了高精度角度加工过程中角度加工误差的来源,还通过物理建模、数学分析跟仿真打算,分析出了在抛光过程中,镜盘所受的能源学方程跟活动学方程,并仿真出力矩随半径跟夹角的变更关联及抛光过程中镜盘上点在抛光模上的活动轨迹;在实际分析的基本上,还进行了大量的工艺实验,重点对整盘高部分低、整盘低边沿塌边等（文章此处忽略..）八种常会晤形的修改方法给予了具体介绍,还介绍了对平行偏差的修改方法,从抛光粉的筛选、抛光模的制造、抛光环境的影响以及抛光伎俩的把持多少个细节方口实验出进步名义毛糙度方法,并给出了所加工的超光滑名义的检测图片,名义糙度Ra达到0.2nm以下,名义在500倍显微镜下不疵病,角度精度优于5″,面形精度优于λ/10;第三部分重要对原子力显微镜、（略..）光学轮廓、光学显微镜、电子显微镜、锥度抛光法、截面显微法等检测名义疵病、名义毛糙度跟亚名义伤害的检测仪器跟检测方法的局限性给予了分析,并在始终实验的基本上给出了超光滑各项指标的无损检测方法,还对超光滑名义的加工提出了多少点改进的倡议;第四部分对整篇文章的进行了全面总结,并指明了超光滑名义的发展趋势。

以上为本篇毕业论文范文高精度角度光学元件超光滑名义的加工跟检测技巧研究的介绍部分。

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