MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究_毕业论文范文网-论文范文

搜索高级搜索

原创毕业论文

MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究

作者: 浏览:19次

免费专业论文
政治工作论文
计算机论文
营销专业论文
工程管理论文范文
医药医学论文范文
法律论文范文
生物专业论文
物理教学论文范文
人力资源论文范文
化学教学论文范文
电子专业论文范文
历史专业论文
电气工程论文
社会学专业论文
英语专业论文
行政管理论文范文
语文专业论文
电子商务论文范文
焊工钳工技师论文
社科文学论文
教育论文范文
数学论文范文
物流论文范文
建筑专业论文
食品专业论文
财务管理论文范文
工商管理论文范文
会计专业论文范文
专业论文格式
化工材料专业论文
英语教学专业论文
电子通信论文范文
旅游管理论文范文
环境科学专业论文
经济论文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
财务管理论文范文
物流论文范文
财务会计论文范文
数学教育论文范文
数学与应用数学论文
电子商务论文范文
法律专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文
计算机专业论文
环境艺术专业论文
信息计算科学专业
物流专业论文范文
人力资源论文范文
教育管理论文范文
现代教育技术论文
小学教育论文范文
机械模具专业论文
报告,总结,申请书
理工科专业论文
心理学论文范文
学前教育论文范文

毕业论文范文题目：MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究，论文范文关键词：MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究
MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：随着集成电路器件尺寸的缩小,晶体管的速度越来越快,互连线的寄生电容和分布电阻所导致的传输时延逐渐增大。为了降低互连时延,金属接触和通孔生产工艺经历了巨大变革。氮化钛作为一种低电阻率,高的热和化学稳定性的（略..）介质材料广泛应用于金属接触和层间通孔工艺中。在0.18μm到90nm工艺中,物理溅射淀积的薄膜将无法满足不断增加的高纵横比结构的台阶覆盖。而CVD工艺以其良好的台阶覆盖能力以及可在低衬底温度淀积的潜力成为人们最为（文章此处忽略..）关心的问题之一。本文以金属有机化学气相淀积方式制作氮化钛薄膜阻挡层为题展开研究,介绍了氮化钛的MOCVD生产工艺过程,相关腔体原理,薄膜分析评价方法,通过比较数据揭示了相关工艺参数对氮化钛薄膜成长特性的（略..）影响,进而组织一系列实验从台阶覆盖性,薄膜均匀性,颗粒控制,杂质含量,电学特性等方面论述其工艺特性。实验结果证明,优化后的预刻蚀,钛淀积和氮化钛工艺可以达到很好台阶覆盖性,在高宽比6:1的情况下,接触孔的底（此处忽略..）部台阶覆盖性可以满足70%;等离子处理后的薄膜内C杂质浓度可以降到3.6at%.膜厚非均匀性(1σ)达到5%以下,改善后的TiN有着更低的电阻率,同时在实际生产中提高了6%的良率。

以上为本篇毕业论文范文MOCVD TiN阻挡层薄膜工艺性能研究的介绍部分。

本论文在论文格式栏目，由论文网(www.zjwd.net)整理,更多论文,请点论文范文查找

收费专业论文
汉语言文学论文
物理学论文
自动化专业论文
测控技术专业论文
历史学专业论文
机械模具专业论文
金融专业论文
电子通信专业论文
材料科学专业论文
英语专业论文
会计专业论文
行政管理专业论文
财务管理专业论文
电子商务国贸专业
法律专业论文
教育技术学专业论文
物流专业论文
人力资源专业论文
生物工程专业论文
市场营销专业论文
土木工程专业论文
化学工程专业论文
文化产业管理论文
工商管理专业论文
护理专业论文
数学教育专业论文
数学与应用数学专业
心理学专业论文
信息管理专业论文
工程管理专业论文
工业工程专业论文
制药工程专业论文
电子机电信息论文
现代教育技术专业
新闻专业论文
热能与动力设计论文
教育管理专业论文
日语专业论文
德语专业论文
轻化工程专业论文
社会工作专业论文
乡镇企业管理
给水排水专业
服装设计专业论文
电视制片管理专业
旅游管理专业论文
物业管理专业论文
信息管理专业论文
包装工程专业论文
印刷工程专业论文
动画专业论文
营销专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文范文
法律专业论文范文
教育管理论文范文
小学教育论文范文
学前教育论文范文
财务会计论文范文

电子商务论文范文

上一篇：稀土/单缺位Keggin型杂多钨酸盐的..

下一篇：金属铀表面全方位离子注入氮化改..