PLD跟MOCVD方法成长的ZnO薄膜构造及发光机能

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PLD跟MOCVD方法成长的ZnO薄膜构造及发光机能

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PLD跟MOCVD方法成长的ZnO薄膜构造及发光机能毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：近年来,跟着GaN蓝绿光发光管、激光器的敏捷发展,ZnO作为一种可能调换GaN的材料受到人们的广泛关注。ZnO是一种直接宽带隙半导体材料,室温下它的能隙宽度为3.37eV,激子束缚能高达60meV。97年ZnO薄膜光泵浦紫外激光的获得跟多晶ZnO薄膜自构成谐振腔激光的呈现,极大地鼓励了人们的研究热忱,使得ZnO材料成为继GaN之后宽禁带半导体光电材料范畴（文章此处忽略..）研究的热点之一。ZnO是一种存在六角纤锌矿构造的半导体材料,作为一种存在低介电常数、高化学牢固性以及优良的光电、压电特点的功能材料,ZnO在很多范畴尤其是光电器件范畴有侧重要利用。氧化锌基半导体光电器件重要包含紫外探测器、发光二极管(LED)跟半导体激光器(LD)等。要得到高品质的器件最重要的是要获得高品质的ZnO薄膜,通常成长ZnO薄膜材料的方法（文章此处忽略..）重要有脉冲激光沉积(PLD),金属有机化学气相沉积(MOCVD),分子束外延(MBE),电子束蒸发,溅射(Sputtering)跟原子层外延(ALE)等。在本论文中,咱们分辨用脉冲激光沉积法(PLD)跟金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在Al_2O_3(0001)、Al_2O_3(11(?)0)、MgAl_2O_4(111)跟MgO(100)衬底上沉积了ZnO薄膜,研究了薄膜的成长前提(不同衬底跟不同成长温度)对ZnO薄膜构造（本文此处忽略..）特点,发光特点以及名义显微构造的影响。X射线衍射谱表明咱们成长的ZnO薄膜存在c轴择优取向,只有在700℃MgO衬底上成长的ZnO溥膜是存在(100)跟(002)两个择优取向的多晶薄膜,这阐明了利用MgO衬底在高温下成长的ZnO薄膜c轴择优取向会退化,而呈现a轴的择优取向(六边形的基面垂直于MgO名义)。原子力显微镜分析成果表明ZnO薄膜沿c轴方向呈柱状成长。从ZnO薄（略..）膜的接收谱可能看到在370—390nm处有陡峭的接收边。室温光致发光谱中察看到了用PLD方法成长的ZnO薄膜存在高强度的紫外发射跟幽微的深能级发光峰。实验成果表明用MOCVD方法成长的ZnO薄膜具

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