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GaN微波及THz功率器件设计与工艺研究

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毕业论文范文题目：GaN微波及THz功率器件设计与工艺研究，论文范文关键词：GaN微波及THz功率器件设计与工艺研究
GaN微波及THz功率器件设计与工艺研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：本文从GaN基大栅宽HEMT器件的出产制造跟GaN基耿氏二极管的构造设计跟关键工艺等方面进行了具体的研究。一方面对GaN/AlGaN异质结大栅宽HEMT的构造进行了制造,并且根据实际的分析揣测其工作在高频大功率的设计准则跟影响因素,据此设计了不同栅宽的GaN/AlGaN异质结HEMT器件,给出了制备大栅宽HEMT的工艺步骤跟方法以及制备后器件管（此处忽略..）芯图跟经过封装连接后的完全HEMT器件图,并且对不同栅宽的GaN/AlGaN异质结HEMT进行了直流特点以及重要是交换特点的测试,对比了不同栅宽下GaN/AlGaN异质结HEMT的工作参数。另一方面对GaN基耿氏二极管的内部工作机理进行了实际研究尤其是耿氏二极管赖以工作的机理速场关联模型,掺杂浓度跟渡越区长度的关联结合以前的研究进行了总结拟合得（本文此处忽略..）出了设计制造GaN基耿氏二极管的准则只有掺杂浓度与渡越区长度之积在两条临界线之间的区域才干产生耿氏振荡。并且利用模仿软件SILVACO对GaN基耿氏二极管跟传统的GaAs基耿氏二极管对新旧两种雷同的工作构造进行模仿仿真对比得出在两种雷同的工作构造下GaN基耿氏二极管比传统GaAs耿氏二极管在工作频率跟输出功率上都远远优良。并且针对制造GaN基耿（本文此处忽略..）氏二极管的重要关键问题GaN的欧姆接触问题,提出了两种改进欧姆接触制造的新型工艺方法以减小欧姆电阻的比接触电阻率这一影响GaN基耿氏二极管的重要参数。一种是新型的二次退火工艺,利用新的高温二次疾速退火工艺咱们对比与传统退火工艺后的欧姆接触形貌图对比明显可能看出新型二次退火工艺可能改良欧姆接触形貌,并且对比两种不同的工艺步骤可能看出新型的二次退火（略..）工艺可能明显降落欧姆接触电阻率。另一种是采取新型溶液王水在制造欧姆接触之前对溅射区域进行名义处理,经过实验,对比了利用王水对欧姆接触区域进行沸煮处理跟利用浓HCl以及不利用酸性溶液处理,这三种不同的方法制造出的欧姆接触的比接触电阻率的大小。通过数据可能明显看出通过王水沸煮这种新型工艺步骤可能有效的降落欧姆电阻的比接触电阻率,进步器件机能。

以上为本篇毕业论文范文GaN微波及THz功率器件设计与工艺研究的介绍部分。

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