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0.13微米闪存工艺平台开发与优化研究

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毕业论文范文题目：0.13微米闪存工艺平台开发与优化研究，论文范文关键词：0.13微米闪存工艺平台开发与优化研究
0.13微米闪存工艺平台开发与优化研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：近些年来,跟着家用电器、个人电脑、照相机以及智能掌上挪动设备等产品的疾速增加,IC产业多少乎融入了人们生活的方方面面。其中不挥发存储器因为存在断电下坚固的数据保持机能,得到了飞速的发展。进入21世纪以来,跟着制造工艺的始终改革,不挥发存储器的存储容量已经冲破了千兆大关,其市场占领率濒临半导体产业的半边天。作为不挥发存储器家族中的佼佼者,闪存(Flas（略..）h)存储器堪称如日中天,从多少万字节的NOR型flash到多少十千兆字节的NAND型flash,产品种类堪称应付自如,大有一统存储器天下之势。自己有幸参加了0.13微米NORflash工艺库开发的全部过程,结合工作实际,对其工艺平台的开发生了全方面且有针对性研究。首先,文章概述了不挥发存储器的发展史以及品种,通过各种存储器构造、特点的比较,明白0.13微米N（略..）ORflash的开发的方向。接着从器件构造入手,通过物理构造与等效电容模型来量化分析器件的特点；同时通过从原理上解析flash常用的两种编程、擦除工作机制来探讨0.13微米NORflash器件的工作模式与性质,从而定义出工艺平台开发的目标与验证标准。工艺平台的树破与优化是文章的重点。在以0.13、0.18微米CMOS逻辑电路设计规矩的基本上,将flash工艺特有（此处忽略..）的隔离、线宽修改以及边界定义等方面做了充分研究,树破了一套完全的0.13微米flash的设计规矩库；而后通过充分探讨了工艺中存在的各种利弊因素,树破了最佳的流程框架,以达到简洁、高效且坚固工序的目标。地道氧化层是flash器件工作的核心,其品质决定了工艺开发的成败。在比较分析业界相干成果的基本上,结合实际情况探讨出最佳的解决打算；同时根据确破的打算,（略..）通过对实验成果的论证,对地道氧化层加以工艺前提跟工序的优化跟调剂,最后从物理形貌跟电学特点两个角度验证了打算的可行性跟坚固性。最后,对闪存器件的坚固性做了分类性探讨,通过对0.13微米flash的抗烦扰性、持久性与数据保持性的验证,断定了全部工艺平台的设计与优化的研究成果,完全可能利用于实际工程中。

以上为本篇毕业论文范文0.13微米闪存工艺平台开发与优化研究的介绍部分。

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