一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究

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一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究

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毕业论文范文题目：一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究，论文范文关键词：一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究
一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：互联网的发展使得人们对现有的通信体系提出了更高的请求，其中一个目标就是树破全光通信的网络平台以进步数据传输的透明性。光开关是全光网络的基石，目前世界上各大公司跟高校的研究小组都纷纷参加到光开关的研究当中。在光开关众多品种种，微机械光开关以（文章此处忽略..）其消光比大的特点备受世人凝视。本论文在比较各品种型光开关的特点的基本上，结合现有的工艺前提，实现了一种利用惯例体硅微机械加工工艺实现的光开关的设计跟制造。并初步实现了光纤的耦合封装工作。本论文利用传统的KOH腐化液，利用硅材料的各向异性的（略..）特点，加工出了垂直于衬底名义的微镜构造，利用这种微镜构造可能实现光芒的切换，实现光路的开关功能。本论文在阐述了常用的微机械加工工艺的基本上，重点介绍了这种微机械光开关的制造过程。同时对工艺中呈现的问题就其起因进行了分析，给出了改进的办法。（此处忽略..）本光开关利用静电作为微镜驱动的方法，所以本论文在对微机械中悬臂梁加品质块构造进行力学推导后，分析了在静电驱动下悬臂梁跟品质块的活动法则，找出了一组光开关履行构造的参数，并用ANSYS软件对其进行了分析。在实现光开关论文的过程中，还对光纤与（略..）光波导端面耦合封装进行了研究，分析了二者耦合损耗产生的起因并提出了一种耦共打算。在此基本上，对光开关的耦合封装进行了实验。对因为工艺的离散性造成微镜厚度对光纤封装耦合产生的损耗进行了分析。并提出了利用光束准直器改良光路传输效力的问题。

以上为本篇毕业论文范文一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究的介绍部分。

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