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基于葵花籽粒构造的仿生抛光垫设计制造及抛光液流场的研究

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毕业论文范文题目:基于葵花籽粒构造的仿生抛光垫设计制造及抛光液流场的研究,论文范文关键词:基于葵花籽粒构造的仿生抛光垫设计制造及抛光液流场的研究
基于葵花籽粒构造的仿生抛光垫设计制造及抛光液流场的研究毕业论文范文介绍开始:
【论文摘要】:本文在仿生学的基本上,提出了一种向日葵籽粒构造的仿生抛光垫,该抛光垫的名义是由彼此独破的磨料块组成,并制造出类似于葵花籽粒分布情势的抛光垫。在抛光垫上的沟槽可能进步抛光垫的抛光机能,使抛光液沿着顺时针跟逆时针的叶列线沟槽流动,有利于流体向四处发散跟废屑的打消,同时也有利于仿生盘由核心向径(略..)向均匀的供给抛光液,使得化学机械抛光过程中的化学作用跟机械作用得到了公道的匹配,解决了化学机械抛光中抛光液流场不均带来的多少何误差等问题。本文首先介绍了斐波那契数列在向日葵花盘中的景象,并且阐述了F.R.Yeatts提出了向日葵成长的数学模型,利用F.R.Yeatts方程模仿出了不同动物(文章此处忽略..)的发散角,不同的叶序参数k以及不同的籽粒半径所对应籽粒的排列方法。根据模仿成果利用UG软件树破了基于葵花籽粒构造的抛光垫的三维模型。其次提出了固结磨料仿生抛光垫的制造方法,采取丝网印刷的方法制造固结磨料仿生抛光垫,介绍了丝网印刷的基本原理,断定丝网印刷过程中的三因素:网版、刮板、网距。给(文章此处忽略..)出制备固结磨料仿生抛光垫的材料跟固结磨料仿生抛光垫的制备流程,得到了固结磨料仿生抛光垫的什物。再次本文介绍了液-固两相流的基本实际跟打算流膂力学的相干常识,对打算流膂力学CFD跟FLUENT软件做了扼要的概述。推导出化学机械抛光抛光液流场活动方程,给出了流场的打算域、网格的划分及模型的边(此处忽略..)界前提,利用流膂力学软件(FLUENT)对抛光液的流动状况进行仿真,并获得了叶序参数对抛光液流动状况的影响法则。最后,通过单晶硅片的抛光实验,研究抛光垫参数、抛光盘转速、抛光液流量及压强对材料去除率的影响,在抛光液中参加荧光素察看在不同抛光盘转速下抛光液在抛光垫上的流动状况跟均匀性。


以上为本篇毕业论文范文基于葵花籽粒构造的仿生抛光垫设计制造及抛光液流场的研究的介绍部分。
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