高精度电容式数字化微机械加速度计体系的研究与设计

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高精度电容式数字化微机械加速度计体系的研究与设计

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毕业论文范文题目：高精度电容式数字化微机械加速度计体系的研究与设计，论文范文关键词：高精度电容式数字化微机械加速度计体系的研究与设计
高精度电容式数字化微机械加速度计体系的研究与设计毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：微机械加速度计由微机械加速度传感器与外围检测电路两部分组成。微机械加速度传感器是微机械加速度计最核心的部分,对加速度计的机能起着关键作用。微机械加速度传感器是用来测量线加速度惯性传感器件,可能利用于惯性力、倾斜角、振动及冲击等惯性参数的测量。微机械加速度计在惯性制导、汽车、花费电子、、地质等方面有着非常广泛的利用前景。电容检测式微机械加速度计存在较高的灵敏度、较好的线性度跟以及较好的牢固性,因此在多种检测情势的加速度计中备受关注。电容检测式微机械加速度计包含电容式微机械传感芯片以及电容检测电路,在微机械传感器断定的（文章此处忽略..）基本上,电容检测电路的机能就直接决定了加速度计体系的终极输出机能。本文针对变面积电容检测式微机械加速度传感器,设计了高精度、大量程的单路载波调制型检测电路,同时为了更好的懂得全部体系的工作过程,本文也扼要分析了加速度传感器的参数设计对全部体系灵敏度、辨别率等机能指标的影响。本文重要缭绕着进步微机械加速度计体系的辨别率、扩大其量程以及改良其牢固性这些研究内容,为高精度、大量程的电容式微机械加速度传感器以及外围电容检测电路的公道设计、参数优化提供了实际根据以及相应的实际教训,对其今后的实用化、工程化存在必定参考意思。本（略..）论文重要工作包含以下内容：(1)针对高精度、大量程的电容式微机械加速度计,设计了电容检测电路。通过对加速度计体系的整体与各个组成部分的噪声机能的分析,提出了将体系增益前移,抉择更优的低噪声芯片,将模仿带通滤波器改为数字带通滤波器等方法,进步了体系的辨别率。通过对加速度计体系的整体与各个组成部分对量程限度的分析,并根据利用过程中,在较大加速度输入时,辨别率可能恰当降落的实际情况,设计了量程分档的电路打算,既可能保障加速度计体系领有大量程,也可能保障加速度计体系在绝对较小加速度输入的情况下领有很高的辨别率。(2)针对加速度计体系受（略..）温度影响较大的特点,为进步加速度计体系的牢固性与精度,提出了两种改良加速度计体系温度牢固性的方法,一种是采取软件的方法在FPGA内对加速度计体系的进行实时补充；另一种是制造高精度的控温安装,对加速度传感器进行严格的温度把持。针对上述两种方法都须要温度采集电路,为了获得更高精度的加速度计体系,本文抉择了辨别率高的温度采集电路。另外针对速度计体系的处理电路的温度特点,提出了对加速度计体系的处理电路进行温度补充的一种新方法。(3)针对各种改良打算,对加速度计体系的各个指标进行测量。测试表明,本设计的开环加速度计体系的辨别率为0.（文章此处忽略..）70μg/√Hz,并且在较佳的温度牢固性的情况下,对该设计的加速度计体系的零偏牢固性进行测试,1.5小时内的零漂约为20μg,10分钟的零漂约为14μg。采取实时温度补充的方法,对加速度计体系进行温度补充,在加速度计体系温度特点拟合曲线与实际所测的数据吻合性较好以及本身的温度系数绝对较小的情况下,在25℃-60℃的测试温度范畴内加速度计体系的零偏牢固由补充前30.5mg变为补充后的0.91mg。另外通过测量证明了对加速度计体系进行温度把持打算的可行性以及对加速度计处理电路的温度补充的必要性。

以上为本篇毕业论文范文高精度电容式数字化微机械加速度计体系的研究与设计的介绍部分。

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