PECVD法制备P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜_毕业论文范文网-论文范文

搜索高级搜索

原创毕业论文

PECVD法制备P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜

作者: 浏览:4次

免费专业论文
政治工作论文
计算机论文
营销专业论文
工程管理论文范文
医药医学论文范文
法律论文范文
生物专业论文
物理教学论文范文
人力资源论文范文
化学教学论文范文
电子专业论文范文
历史专业论文
电气工程论文
社会学专业论文
英语专业论文
行政管理论文范文
语文专业论文
电子商务论文范文
焊工钳工技师论文
社科文学论文
教育论文范文
数学论文范文
物流论文范文
建筑专业论文
食品专业论文
财务管理论文范文
工商管理论文范文
会计专业论文范文
专业论文格式
化工材料专业论文
英语教学专业论文
电子通信论文范文
旅游管理论文范文
环境科学专业论文
经济论文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
财务管理论文范文
物流论文范文
财务会计论文范文
数学教育论文范文
数学与应用数学论文
电子商务论文范文
法律专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文
计算机专业论文
环境艺术专业论文
信息计算科学专业
物流专业论文范文
人力资源论文范文
教育管理论文范文
现代教育技术论文
小学教育论文范文
机械模具专业论文
报告,总结,申请书
理工科专业论文
心理学论文范文
学前教育论文范文

毕业论文范文题目：PECVD法制备P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜，论文范文关键词：PECVD法制备P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜
PECVD法制备P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：硅薄膜太阳能电池相对于单晶硅和多晶硅太阳能电池而言,具有所消耗硅材料少,成本低的特点,尤其是廉价衬底的引入,使硅基薄膜太阳能电池在成本控制方面具有更强的市场竞争力。非晶硅薄膜太阳能电池是目前光伏市场研究热点,多晶硅薄膜以其优异的光电性能和较低的制备成本在能源信息工业中,日益成为一种非常重要的电子材料,被广泛应用于大规模集成电路和半导体分立器件。高效、稳定、廉价的多晶硅薄膜太阳电池有可能替代非晶硅薄膜（此处忽略..）太阳电池成为新一代无污染民用太阳能电池。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术,在普通玻璃衬底上以SiH_4和B_2H_6为气源制备出均匀的硼掺杂P型非晶硅薄膜,利用NKD系统、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等手段系统研究了不同反应气体浓度、辉光功率和衬底温度对制备硅薄膜沉积速率和光电特性的影响,并从机理层面给出了解释。实验结果表明,射频功率增加时,非晶硅薄膜沉积速率增加;硼的掺入对薄膜的生长速（本文此处忽略..）率有影响,当硼烷浓度达到1.0%时,薄膜的生长速率最大,达到3.3nm/min;随着衬底温度的升高,非晶硅薄膜的生长速率增大。掺硼的P型非晶硅薄膜较本征非晶硅薄膜的光吸收系数下降一个数量级,光学禁带宽度约1.60eV左右,电导率约为10~(-3)S/cm;以SiH_4、B_2H_6和CH_4混合气体为气源制备P型a-SiC:H窗口层材料,薄膜光学带隙达到2.0eV左右,电导率为10~(-5)S/cm。采用等离子增强化学气相沉积PECVD法,在玻璃（文章此处忽略..）衬底上以SiCl_4/H_2为反应气体在低温条件下制备出多晶硅薄膜。利用NKD系统、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)等手段系统研究了不同反应功率、反应压力、气体流量、基片温度等工艺条件下制备多晶硅薄膜的晶化与光学性质。实验结果表明,在适当大小沉积功率(100W)、适当SiCl_4反应浓度(35%)以及适当反应压强(80Pa)条件下制备的多晶硅薄膜具有较好晶化程度,且晶化程度随反应温度上升而提高。此外,适当减小反应气体量与反应（文章此处忽略..）室容积比例,可以使薄膜晶化率有所提高,且在沉积功率较大时更为显著。本实验条件下薄膜晶化率最高达到80%,平均晶粒尺寸200nm以上,沉积速率最大为7.5nm/min。所制备的多晶硅薄膜光吸收系数约在5×10~4cm~(-1)左右,光学带宽约1.5eV,二者均随薄膜晶化程度的提高有所下降。

以上为本篇毕业论文范文PECVD法制备P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜的介绍部分。

本论文在论文格式栏目，由论文网(www.zjwd.net)整理,更多论文,请点论文范文查找

收费专业论文
汉语言文学论文
物理学论文
自动化专业论文
测控技术专业论文
历史学专业论文
机械模具专业论文
金融专业论文
电子通信专业论文
材料科学专业论文
英语专业论文
会计专业论文
行政管理专业论文
财务管理专业论文
电子商务国贸专业
法律专业论文
教育技术学专业论文
物流专业论文
人力资源专业论文
生物工程专业论文
市场营销专业论文
土木工程专业论文
化学工程专业论文
文化产业管理论文
工商管理专业论文
护理专业论文
数学教育专业论文
数学与应用数学专业
心理学专业论文
信息管理专业论文
工程管理专业论文
工业工程专业论文
制药工程专业论文
电子机电信息论文
现代教育技术专业
新闻专业论文
热能与动力设计论文
教育管理专业论文
日语专业论文
德语专业论文
轻化工程专业论文
社会工作专业论文
乡镇企业管理
给水排水专业
服装设计专业论文
电视制片管理专业
旅游管理专业论文
物业管理专业论文
信息管理专业论文
包装工程专业论文
印刷工程专业论文
动画专业论文
营销专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文范文
法律专业论文范文
教育管理论文范文
小学教育论文范文
学前教育论文范文
财务会计论文范文

电子商务论文范文

上一篇：双烯酮亚胺基稀土配合物的合成、..

下一篇：基于Inmarsat-C和BGAN的船舶电子..