以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜

搜索高级搜索

原创毕业论文

以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜

作者: 浏览:4次

免费专业论文
政治工作论文
计算机论文
营销专业论文
工程管理论文范文
医药医学论文范文
法律论文范文
生物专业论文
物理教学论文范文
人力资源论文范文
化学教学论文范文
电子专业论文范文
历史专业论文
电气工程论文
社会学专业论文
英语专业论文
行政管理论文范文
语文专业论文
电子商务论文范文
焊工钳工技师论文
社科文学论文
教育论文范文
数学论文范文
物流论文范文
建筑专业论文
食品专业论文
财务管理论文范文
工商管理论文范文
会计专业论文范文
专业论文格式
化工材料专业论文
英语教学专业论文
电子通信论文范文
旅游管理论文范文
环境科学专业论文
经济论文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
财务管理论文范文
物流论文范文
财务会计论文范文
数学教育论文范文
数学与应用数学论文
电子商务论文范文
法律专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文
计算机专业论文
环境艺术专业论文
信息计算科学专业
物流专业论文范文
人力资源论文范文
教育管理论文范文
现代教育技术论文
小学教育论文范文
机械模具专业论文
报告,总结,申请书
理工科专业论文
心理学论文范文
学前教育论文范文

毕业论文范文题目：以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜，论文范文关键词：以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜
以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：多晶硅薄膜以其优异的光电性能和较低的制备成本在能源信息工业中，日益成为一种非常重要的电子材料，被广泛应用于大规模集成电路和半导体分立器件。高效、稳定、廉价的多晶硅薄膜太阳电池有可能替代非晶硅薄膜太阳电池成为新一代无污染民用太阳能电池。为降低多晶硅薄膜的生产成本，目前国际上已发展了多种低温制备技术，但各有其不利于工业化生产的因素。而传统（文章此处忽略..）的PECVD系统较适合大规模工业化生产，而且工艺成熟，所制备的薄膜质量高，因而PECVD法是工业化生产最有效的方法。SiCl_4与SiF_4结构性能相近，且是一种比SiH_4、SiF_4更廉价的工业原材料，生产更安全，能有效降低生产成本。因此，本论文尝试采用SiCl_4/H_2作为反应气体，用传统的射频辉光放电PECVD方法，在玻璃和硅衬底上直接（本文此处忽略..）制备多晶硅薄膜，以求寻找一种适应大规模工业化生产的方法。我们发现，当衬底温度仅为200℃时，即能沉积到多晶硅薄膜。这在国内外都未见报导过。由Raman光谱估计该薄膜的晶化度接近100％。薄膜由纯硅元素组成，不含Cl、H、C、N、O等杂质；暗电导率最高可达10~(-5)Ω~(-1)·cm~(-1)，光照稳定性好；在可见光区吸收系数可达10~4cm~(-1)。并且，以玻璃为衬底的薄膜（此处忽略..）其晶粒大小随深度的增加而增大，由此可推断，若薄膜越厚，则晶粒会越大。衬底为硅片时，在较低的沉积功率下就能获得完全晶化的多晶硅薄膜。通过与其他源反应气体相比较，我们认为，1、是Cl元素的原位化学清洁作用、原位化学腐蚀作用和对衬底的预处理促进了薄膜的低温晶化。2、在该反应体系中，在薄膜沉积的最初阶段，晶化主要取决于等离子体中的空间气相反应过程（文章此处忽略..）。因此，薄膜的晶化度受沉积功率的影响。3、在等离子体中形成的已具有足够大小的晶粒经过扩散作用迁移到衬底表面，在那里发生各种表面反应过程，晶粒得以长大并成硕士研究生学位论文膜。在本论文中，由于表面所能提供的能量较低，也就是说促进晶粒长大的动力较小，因而晶粒总体来说还是较小。

以上为本篇毕业论文范文以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜的介绍部分。

本论文在论文格式栏目，由论文网(www.zjwd.net)整理,更多论文,请点论文范文查找

收费专业论文
汉语言文学论文
物理学论文
自动化专业论文
测控技术专业论文
历史学专业论文
机械模具专业论文
金融专业论文
电子通信专业论文
材料科学专业论文
英语专业论文
会计专业论文
行政管理专业论文
财务管理专业论文
电子商务国贸专业
法律专业论文
教育技术学专业论文
物流专业论文
人力资源专业论文
生物工程专业论文
市场营销专业论文
土木工程专业论文
化学工程专业论文
文化产业管理论文
工商管理专业论文
护理专业论文
数学教育专业论文
数学与应用数学专业
心理学专业论文
信息管理专业论文
工程管理专业论文
工业工程专业论文
制药工程专业论文
电子机电信息论文
现代教育技术专业
新闻专业论文
热能与动力设计论文
教育管理专业论文
日语专业论文
德语专业论文
轻化工程专业论文
社会工作专业论文
乡镇企业管理
给水排水专业
服装设计专业论文
电视制片管理专业
旅游管理专业论文
物业管理专业论文
信息管理专业论文
包装工程专业论文
印刷工程专业论文
动画专业论文
营销专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文范文
法律专业论文范文
教育管理论文范文
小学教育论文范文
学前教育论文范文
财务会计论文范文

电子商务论文范文

上一篇：TGF-β1、血管紧张素Ⅱ、醛固酮与..

下一篇：噻吩醛缩合苯二胺有机敏化剂及其..