ABO_3型薄膜生长特性的计算机模拟与实验验证

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ABO_3型薄膜生长特性的计算机模拟与实验验证

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毕业论文范文题目：ABO_3型薄膜生长特性的计算机模拟与实验验证，论文范文关键词：ABO_3型薄膜生长特性的计算机模拟与实验验证
ABO_3型薄膜生长特性的计算机模拟与实验验证毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：本论文通过理论推导和计算机模拟,对ABO_3型氧化物薄膜的生长机制进行了较为深入的研究,并利用所得的规律指导实验。论文研究工作主要从以下几个方面进行:①针对物质源为分子源的情况,模拟了SrTiO_3薄膜的初期生长过程,由于计算能力的限制,物质源简化为SrTiO_3、SrO、TiO（文章此处忽略..）2三种分子,分别模拟了不同沉积速率,不同基底温度下薄膜初期生长情况;②以ABO_3型多元氧化物薄膜的生长是通过晶胞的扩散来实现为理论基础进行模拟,考虑了晶胞初始动能的影响,采用动力学蒙特卡罗方法发展了模拟SrTiO_3薄膜外延生长的三维模型及模拟算法。使用此模型,对不同沉积速率,（此处忽略..）不同沉积温度,以及不同沉积晶胞初始动能时,ABO_3型多元氧化物(以SrTiO_3为例)薄膜形貌的详细演化过程、生长模式、表面粗糙度、初期岛等进行了详细的研究,讨论了初期岛-生长模式-表面粗糙度的关系;③理论推导了成膜粒子动能对薄膜晶化温度的影响,利用磁控溅射装置在Si(001)基底制备Ba（本文此处忽略..）TiO_3薄膜加以验证,并将工艺推广到了Pt/Ti/SiO2/Si基底,还对近室温制备工艺下得到的BaTiO_3薄膜的物象结构、元素组成和表面粗糙度及其电学性能进行了分析和表征。通过上述工作,本论文得出如下具有创新意义的研究成果:1.在对SrTiO_3薄膜成膜初期的模拟中,考虑物质源（略..）仅局限于SrTiO_3、SrO、TiO2三种分子;计算程序是基于课题组已有程序并进行必要的修改;模拟结果表明,随着基底温度的升高,SrTiO_3薄膜中SrO和TiO2分子碰撞结合的概率增大,导致了SrO和TiO_2分子数目的不

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