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金属有机化学气相沉积法制备氧化钇涂层的摸索研究

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毕业论文范文题目:金属有机化学气相沉积法制备氧化钇涂层的摸索研究,论文范文关键词:金属有机化学气相沉积法制备氧化钇涂层的摸索研究
金属有机化学气相沉积法制备氧化钇涂层的摸索研究毕业论文范文介绍开始:
【论文摘要】:Y_2O_3热牢固性好、在高温下与铀及其合金化学牢固性好,是公认的熔铸铀跟铀合金用石墨坩埚的有效阻碳涂层。目前,制备Y_2O_3涂层的重要方法有刷涂法、热喷涂法、等离子喷涂法,但这些方法不能满意涂层对厚度、结合强度、完全性的请求。金属有机化学气相沉积法(MOCVD)是一种进步的涂层制备方(略..)法,采取此方法制备的涂层存在品质高、完全性好、厚度易于把持等长处。本文针对铀合金熔炼用石墨模具的高温阻碳涂层,摸索MOCVD制备Y_2O_3涂层的可行性。重要研究内容与研究成果如下:(1)通过对前驱体Y(TMHD)_3CVD相干性质的研究及实验摸索,研制了MOCVD制备Y_2O_3涂层的实验设备(文章此处忽略..)。研究表明,采取沉积区加热体与石英管沉积腔分别、前驱体靠沉积区辐射加热、无真空体系的卧式反应炉可能满意请求。(2)通过对Y_2O_3涂层成分跟微构造的分析,研究了MOCVD工艺参数对涂层品质的影响法则:1)前驱体Y(TMHD)_3在沉积区的浓度直接影响涂层的沉积,只有当前驱体浓度超过饱跟浓度时,(此处忽略..)才干制备出与基底结合良好的涂层;2)沉积涂层的品质随温度升高而变好,700℃沉积的涂层与600℃跟650℃沉积的涂层比拟,缺点减少,涂层与基底结合较好;沉积温度会影响涂层晶粒类型,在CVDSiC基底上700℃沉积涂层晶粒呈柱状晶形,600℃跟650℃沉积涂层为等轴晶形;3)基底类型影响涂层品质,在石英基底上沉积涂层最致(文章此处忽略..)密,与基底结合最周到;基底类型不同导致沉积涂层的温度范畴的差别,对石英基底,沉积出Y_2O_3涂层的温度范畴为500-700℃,而对CVDSiC基底其温度范畴为600-700℃。


以上为本篇毕业论文范文金属有机化学气相沉积法制备氧化钇涂层的摸索研究的介绍部分。
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