由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断

搜索高级搜索

原创毕业论文

由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断

作者: 浏览:5次

免费专业论文
政治工作论文
计算机论文
营销专业论文
工程管理论文范文
医药医学论文范文
法律论文范文
生物专业论文
物理教学论文范文
人力资源论文范文
化学教学论文范文
电子专业论文范文
历史专业论文
电气工程论文
社会学专业论文
英语专业论文
行政管理论文范文
语文专业论文
电子商务论文范文
焊工钳工技师论文
社科文学论文
教育论文范文
数学论文范文
物流论文范文
建筑专业论文
食品专业论文
财务管理论文范文
工商管理论文范文
会计专业论文范文
专业论文格式
化工材料专业论文
英语教学专业论文
电子通信论文范文
旅游管理论文范文
环境科学专业论文
经济论文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
财务管理论文范文
物流论文范文
财务会计论文范文
数学教育论文范文
数学与应用数学论文
电子商务论文范文
法律专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文
计算机专业论文
环境艺术专业论文
信息计算科学专业
物流专业论文范文
人力资源论文范文
教育管理论文范文
现代教育技术论文
小学教育论文范文
机械模具专业论文
报告,总结,申请书
理工科专业论文
心理学论文范文
学前教育论文范文

毕业论文范文题目：由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断，论文范文关键词：由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断
由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：近年来,随着传统能源的日趋枯竭,可再生光伏能源快速发展,其原材料多晶硅的需求也因此猛增。与此同时,多晶硅生产过程中的副产物四氯化硅的安全处理及环保问题也越来越受到人们的重视。本论文以SiCl_4为前驱体直接制备多晶硅,并采用具有应用优势且在近些年颇受关注的大气压等离子体化学气相沉积法,有效的利用了多晶硅工业的副产物,为安全、环保（此处忽略..）、低成本生长多晶硅探索了新的途径。1)本论文首先考察了大气压下采用不同的放电电源,即正脉冲高压电源、8kHz交流高压电源、100kHz交流高压电源及双源(正脉冲+100kHz交流高压电源)放电,对等离子体化学气相沉积制备多晶硅的影响。XRD及Raman表征结果表明,在正脉冲高压和8kHz交流高压电源放电条件下制备的样品为无定形硅,而采用100kHz交流高压（本文此处忽略..）电源及双源放电时制备的样品为多晶硅,由SEM看出,双源放电制得的样品粒径稍大。EDX能谱显示,制得的多晶硅样品主要为硅元素,含有微量的氯残留。在100kHz交流高压电源及双源放电情况下,分别考察了He稀释气、H_2分压、SiCl_4分压、放电功率及气体流速对制备多晶硅的影响。2)对由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积过程,采用（略..）发射光谱法进行了诊断。对H_2+SiCl_4放电体系,分别考察了不同频率交流电源、He稀释气流量、H_2分压、SiCl_4分压及放电功率下发射光谱的变化。并选用发射光谱图中Balmer系H原子H_α(656.6am)和H_β(486.1nm)的两条谱线对H原子的激发温度进行了计算和讨论。采用内标法对不同放电功率下H_2体系中的H原子数密度及H_2分子解离率进行了（此处忽略..）定量测定。在等离子体化学气相沉积过程中,观测到强的激发态Si~*跃迁谱线[288.2nm,3s~23p~2(~1D)-3s~23p4s(~1P°)]。由此推测等离子体激发分解SiCl_4产生的激发态Si~*是沉积形成多晶硅的重要活性物种。

以上为本篇毕业论文范文由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断的介绍部分。

本论文在化工材料论文栏目，由论文网(www.zjwd.net)整理,更多论文,请点论文范文查找

收费专业论文
汉语言文学论文
物理学论文
自动化专业论文
测控技术专业论文
历史学专业论文
机械模具专业论文
金融专业论文
电子通信专业论文
材料科学专业论文
英语专业论文
会计专业论文
行政管理专业论文
财务管理专业论文
电子商务国贸专业
法律专业论文
教育技术学专业论文
物流专业论文
人力资源专业论文
生物工程专业论文
市场营销专业论文
土木工程专业论文
化学工程专业论文
文化产业管理论文
工商管理专业论文
护理专业论文
数学教育专业论文
数学与应用数学专业
心理学专业论文
信息管理专业论文
工程管理专业论文
工业工程专业论文
制药工程专业论文
电子机电信息论文
现代教育技术专业
新闻专业论文
热能与动力设计论文
教育管理专业论文
日语专业论文
德语专业论文
轻化工程专业论文
社会工作专业论文
乡镇企业管理
给水排水专业
服装设计专业论文
电视制片管理专业
旅游管理专业论文
物业管理专业论文
信息管理专业论文
包装工程专业论文
印刷工程专业论文
动画专业论文
营销专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文范文
法律专业论文范文
教育管理论文范文
小学教育论文范文
学前教育论文范文
财务会计论文范文

电子商务论文范文

上一篇：新手—专家化学教师课堂教学行为..

下一篇：聚偏氟乙烯（PVDF）中空纤维膜制..