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酞菁类声表面波气体传感器研究

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毕业论文范文题目：酞菁类声表面波气体传感器研究，论文范文关键词：酞菁类声表面波气体传感器研究
酞菁类声表面波气体传感器研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：气体传感器作为一种新型的敏感元器件,近些年已经有了很大的发展,频率高、体积小、功能多、稳定性好、易于批量生产的声表面波器件,以其独特的性能在电子对抗试验中、航空航天、移动通信、雷达、遥控遥测、广播电视等民用和军用领域中都得到了成功的应用。新型的声表面波传感器,更是以其灵敏度高,功耗低等的优势,广泛应用于生物量,化学量和物理量的检测中,成为（文章此处忽略..）传感器领域中一门新兴技术,拥有巨大的发展潜力。SAW传感器是电子技术与材料科学相结合的产物,它由SAW振荡器、敏感的界面膜材料和振荡电路组成,而改善敏感薄膜的气敏性是目前一个重要的研究领域。酞菁类材料的分子结构是一个平面大π键共轭芳香体系,环内有一个空穴,具有良好的气体吸附能力,而且具有良好的化学稳定性和热稳定性。本论文从声表面波气体传感（此处忽略..）器研究的三个主要方面——器件结构、气敏材料、敏感特性出发,主要对气敏材料的制备工艺对敏感特性的影响方面进行深入的研究。利用真空热蒸发和滴涂的方法制备了NO2气敏薄膜(MPc),并进行了微观结构表征和分析,同时在薄膜气敏特性研究的基础上对NO2气敏特性和敏感机理进行了研究。论文中讨论分两个部分,第一部分是声表面波传感器的基本理论,声表面波传感器的建（本文此处忽略..）模与基于模型的分析、气体传感器压电材料的选择、结构的设计、IDT的设计。其中IDT的设计参数主要有IDT的周期、指对数、孔径、金膜的厚度、输入输出IDT的中心间距等。第二部分是对敏感薄膜材料的研究和分析,因为本实验室对NO2气体的检测,所以选择了酞菁类材料为敏感靶材,主要是通过真空热蒸发和滴涂两种镀膜方式,并通过性能的表征分析薄膜的结构,对（文章此处忽略..）气体的测试结果分析薄膜的性能。相对于无机金属氧化物敏感薄膜材料,有机半导体作为气敏材料具有高灵敏度,可以在室温下操作及能耗低,良好的选择性,恢复效率高,工作温度低、和操作方便,薄膜易于制备等优势。而酞菁类材料由于其稳定性好,对特殊气体敏感等特性,是一类具有广泛应用前景的气敏材料。本文研究了基于酞菁薄膜材料的NO2气体传感器。

以上为本篇毕业论文范文酞菁类声表面波气体传感器研究的介绍部分。

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