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阵列微构造对微器件超声波精巧封接的影响

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阵列微构造对微器件超声波精巧封接的影响毕业论文范文介绍开始:
【论文摘要】:跟着MEMS技巧的发展,聚合物质料以其价格低廉、制造本钱低、易于批量制造等长处已经广泛利用于微流控生物芯片、微型燃料电池、微阀、微泵等MEMS器件的制造。MEMS器件的密闭微通道网络的构成跟微功能器件的密封组装等成为决定微器件品质的重要环节,是聚合物微器件从研究走向利用及批量化出产的关键一步。目前(文章此处忽略..)重要研究的封接技巧在方法的实用性、制造品质、效力等方面存在问题跟局限性,聚合物超声波焊接技巧为此提供了可行的解决道路。超声波焊接存在封接强度高、不须要引入旁边介质、作业效力高等长处,其加热方法为部分加热,对微器件的构造以及封接前后外形的变更影响较小,对实现微器件封接的批量化出产有着很好的利用前景。(此处忽略..)聚合物超声波精巧封接是一项重要的MEMS加工方法,对进步聚合物MEMS器件键合或封接效力存在重要意思。为进步封接可控性,打消微器件封接名义形貌跟毛糙度差别对封接品质的影响并进步产热效力,本文提出在微器件名义制造阵列微导能构造的方法,用一组凸起的点阵构造代替传统的面型或线型导能筋构造。以PMMA渺小(本文此处忽略..)管道与基片的封接进行实验,从微导能构造的高度跟密度两个角度研究名义构造对超声波封接品质的影响,研究了阵列微导能构造的高度跟密度对超声波封接过程的影响。采取声波传递效力反馈把持方法,利用自行搭建的超声波封接设备进行了实验,对超声波作用下聚合物界面润湿行动进行了察看分析,成果表明跟着微构造高度跟密度的(略..)增大,切实现完全封接须要的超声波能量呈递增的趋势;微导能构造的高度跟密度特点对微器件的封接品质的影响在各自的范畴内遵守必定的法则,但两者在A0(高度与密度的比值)的不同阶段对封接品质的影响程度存在必定的差别;该种微导能构造有效把持了聚合物熔融流延,获得了均一的封接面,可实现高品质精巧封接。


以上为本篇毕业论文范文阵列微构造对微器件超声波精巧封接的影响的介绍部分。
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