栅极的再氧化对EEPROM阈值电压的影响及可控研究

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栅极的再氧化对EEPROM阈值电压的影响及可控研究

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毕业论文范文题目：栅极的再氧化对EEPROM阈值电压的影响及可控研究，论文范文关键词：栅极的再氧化对EEPROM阈值电压的影响及可控研究
栅极的再氧化对EEPROM阈值电压的影响及可控研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：在集成电路制造工艺中,为使产品得到不同的开启电压,往往采用分两次氧化和预先掺杂(离子注入)致使界面氧化反应速率不同,来达到所需氧化层厚度的方法。栅氧化层作为MOS晶体管的栅介质,它的品质好坏直接影响晶体管的各项特性,包括开启电压Vt(THRESHOLDVOLTAGE),击穿电压(BREAKDOWNVOLTAGE)等,另外它对晶片的合格率和可靠性影响也很（文章此处忽略..）大,极小量的缺陷都可能显著降低集成电路的合格率和可靠性。一般的确保栅氧化层质量的GOI(gateoxideintegrated)和厚度的方式已不能满足对在线栅氧化质量的实时监控。因此它不能及时准确地反映栅氧化机台的状况。如果按一般产品生产周期一个月来讲,在这段时间里,如果在线的栅氧化机台发生异常现象,对于任何一个晶圆代工厂来说,都将是灾难性的,（略..）它会引起大量的产品报废,从而造成巨大和直接的经济损失。本文探讨的是一种8英寸厂生产的0.18μmEEPROM的产品在生长栅氧化层的过程中出现的问题,对此本文作了不同氧气,DCE(二氯乙烯)流量的氧化反应的相关性实验,同时做了以下测试和观察：1.对产生问题的机台作对比重复实验,在同一机台氧化一层氧化层,再在两个不同机台作栅氧的再氧化,同时对栅氧化层做了C-（此处忽略..）V测试,分析了Vfb,Qtot,Qm,Vs,SPV参数的测试,2,对类似产品做了结果的肯定性测试和实验,对实验结果进行重复实验后对结果的再肯定。通过一系列实验和测试证明：小流量DCE的引入对改善器件性能是有效的,但是微量的变化不足以令厚度有明显异常的变化,但是对于器件最后的各方面参数却有很大的影响,氧化层的再氧化Qtot参数测试对在线监控方式（略..）的不足得到很好的改善补充,在线监控技术的有效性得到了进一步的加强。另外对于参数Qtot的推广与应用,它可以预先对比不同厂家机台的参数差异,便于机台扩展,对机台之间的统一化是一很好的手段,这一在线监控方式的成功对于晶圆代工厂来说,无论是从产品品质的安全性角度考虑,还是从产业应用,都具有非常积极的意义。

以上为本篇毕业论文范文栅极的再氧化对EEPROM阈值电压的影响及可控研究的介绍部分。

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