常温大气等离子抛光去除速度函数的研究

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常温大气等离子抛光去除速度函数的研究

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毕业论文范文题目：常温大气等离子抛光去除速度函数的研究，论文范文关键词：常温大气等离子抛光去除速度函数的研究
常温大气等离子抛光去除速度函数的研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：古代微电子技巧跟光学技巧的发展对工件品质提出了越来越高的请求,一方面光学元件为了获取极高的反射度值,请求名义毛糙度低于纳米级别;另一方面半导体工艺越来越精巧,请求硅片名义存在完全的晶格构造。这二者都可能称之为超光滑名义。传统加工方法属于应力加工,会破坏工件名义晶格完全性并引入残余应力,难以满意超光滑名义的须（文章此处忽略..）要。大气等离子加工方法是一种新兴的名义加工方法,依附纯化学反应去除材料,加工效力高并且名义无伤害。哈尔滨产业大学精巧工程研究所已经在这项技巧长进行了多年研究,目前筹备将大气等离子加工拓展到超精巧光学元件的制造技巧上。本文缭绕着加工石英玻璃时面临的一系列问题进行研究,重点研究各参数对加工速度的影响。原体系设计（略..）用以加工半导体硅片,而石英玻璃在化学性质上与硅存在诸多不同,并且原放电构造不合实用于进行形貌加工,因此须要对体系做出一些改进。本文首先利用原有体系进行加工实验,证明该等离子炬对石英玻璃无加工后果,但在稍作修改情况下能进行极为迟缓的加工。随后从放电构造,气体配方两方面对体系进行了改进,使加工速度得到极大进步,（此处忽略..）能满意粗精加工须要,并减少了名义沉积物。可控性是体系在外界烦扰跟自发牢固前提下的牢固机能,表述了对加工后果的猜测才能,是可能进行牢固加工的前提。可控性包含了短时反复性、去除量与时光的线性以及渺小扰动下的鲁棒性三个方面,本文对此进行了实验研究,成果表明在严格把持参数的前提下,体系存在良好的可控性。体系设计目标（此处忽略..）是盼望能将名义粗加工与超精巧抛光一次实现,因此须要加工速度存在大范畴调节才能并能正确的猜测加工后果。加工速度重要靠若干个参数进行调节,本文研究了参数的抉择方法,并进行了数据采集实验,通过数据拟合得到了加工速度对于两个参数的函数表白式。接下来进行了验证明验,实验表明,该表白式能正确描述猜测加工后果。

以上为本篇毕业论文范文常温大气等离子抛光去除速度函数的研究的介绍部分。

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