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本征非晶硅薄膜的激光晶化研究

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毕业论文范文题目：本征非晶硅薄膜的激光晶化研究，论文范文关键词：本征非晶硅薄膜的激光晶化研究
本征非晶硅薄膜的激光晶化研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：目前,世界能源结构中,人类主要利用的是石油、天然气、煤炭等不可再生能源,而根据目前所探明的储量和消费量计算,这些能源资料仅可供全世界大约消费150年左右。并且,不可再生能源无限制的开发和滥用是造成人类生存环境恶化的主要原因之一,如燃烧不可再生能源所排放出的二氧化碳和含氧硫化物会导致地球温室效应和酸雨的形成，因此，调整能源结构迫在眉睫。21世纪,人类面临着经济和社会可持续发展的考验,在有限资源和环保的要求制约下发展社会经济已成为全世界的热点问题（略..）,这就促使我们寻求可再生的清洁能源替代不可再生能源。而太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的理想的可再生能源，在可再生能源中处于优势地位。利用太阳能进行光伏发电是有效地利用太阳辐射能量的最基本方法，其基本原理是利用材料的光伏效应制作太阳能电池，自太阳能电池问世以来，硅以其存储量高、制作工艺成熟、洁净无污染、转换效率高、稳定性好等优点成为了太阳能电池研究开发的主体材料。硅基太阳能电池主要有晶体硅与硅薄膜等几种。晶体硅太阳能电池的光电转换效（文章此处忽略..）率高，技术较为成熟，但其对硅原料的纯度要求高且使用量大、对晶体硅浪费很多，同时高纯度晶体硅制备工艺复杂且属于高耗能高污染行业，所以生产成本居高不下，不利于光伏发电技术的普及和应用。硅薄膜太阳电池能够有效地利用硅材料，有利于降低成本，但缺点是一般真空技术生长的硅薄膜基本上都是非晶或多晶硅薄膜，其光电转换效率低且存在光致衰减，为了提高效率，必须想办法使非晶硅薄膜晶化，而且晶化程度越高、均匀性越好，电池的效率越高。一般的热退火晶化技术由于（本文此处忽略..）玻璃基底的耐温程度底且速度太慢（一般需要数小时），不能达到理想的晶化效果，也不能实现太阳能电池单元的快速生产。利用激光的高能量能够达到快速均匀的晶化效果，因此成为人们寄予厚望的晶化方法。本文主要研究了硅基薄膜太阳能电池的硅层的激光晶化。由于非晶硅薄膜的纯度对激光晶化有着很大的影响，所以激光晶化的有源层采用了本征非晶硅薄膜。首先通过等离子体增强化学气相沉积系统在普通玻璃衬底上沉积了一层本征非晶硅薄膜。然后通过激光晶化的方法来探索非晶硅（文章此处忽略..）薄膜的晶化工艺和方法，并分别采用了连续激光器和脉冲激光器对样品进行了处理，使薄膜表层由非晶态变成了多晶态甚至单晶态，从而实现了弱化S-W效应和提高了薄膜整体性能的目的。样品晶化后，通过共焦显微拉曼测试技术表征了样品的晶化效果，用扫描电镜表征了样品的表面形貌，用紫外可见近红外分光光度计测试了非晶硅薄膜的吸收光谱，用霍尔测试仪测试了样品的电学性能，并通过相应的公式计算了晶化后的一些重要参数，达到了优化激光晶化的工艺参数。

以上为本篇毕业论文范文本征非晶硅薄膜的激光晶化研究的介绍部分。

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