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薄膜体声波谐振器的分析与设计

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毕业论文范文题目：薄膜体声波谐振器的分析与设计，论文范文关键词：薄膜体声波谐振器的分析与设计
薄膜体声波谐振器的分析与设计毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：近年来,随着个人通信,卫星通信,以及其它各种形式的无线通信系统的迅猛发展,其工作频率不断向中高频扩展,使得频率选择控制成为射频前端的关键问题,薄膜体声波谐振器(FBAR)作为目前唯一有望集成的射频滤波器技术,有着比传统介质滤波器和声表面波(SAW)滤波器更小的体积,更高的工作频率,高Q值,插入损耗低,带外抑制大,低温度系数与半导体技术工艺兼容等优点,有望成为射频前端频率选择器件的最（略..）佳解决方案。正成为国内外研究的热点。本文将在以下几个方面进行研究：(1)首先系统的对FBAR的基本原理和结构,FBAR所用的材料和制备方法进行系统的论述。(2)从基本的声学、压电学、电磁学和弹性力学理论出发,推导出理想FBAR阻抗解析模型,并在此基础上进一步获得了复合型FBAR的输入阻抗解析表达式。(3)基于FBAR的输入阻抗表达式,详细探讨了各层材料尺寸参数对FBAR的性能的影响,从而为后（略..）续的FBAR的尺寸微调工作打下基础。同时,由于在FBAR的输入阻抗谱中有几十到几百个谐振模式,选择出某个具有最大有效机电耦合系数的谐振模式,对该模式下的性能参数进行了详细探讨,从而作为后续滤波器设计的指导依据。(4)建立了FBAR的MBVD等效电路模型及该模型下参数的提取方式,在ADS环境下建立MBVD的仿真库,从而方便的构建滤波器的拓扑结构,为滤波器的微调和设计打下基础。在FB（略..）AR的ADS仿真库的基础上,对阶梯型滤波器进行设计和仿真。(5)提出了FBAR器件的分析和综合设计方法，为FBAR的实际设计和制备缩短设计周期提供了很好的参考。(6)基于上述提出的FBAR的数学模型和滤波器设计方法,用Delphi和MATLAB混合编程编制了一套FBAR分析设计软件,该软件集合了FBAR的分析和综合的众多功能,结合ADS,能完成FBAR从最基本的各层材料尺寸的决定,到器（此处忽略..）件级再到系统级,或者从系统级到器件级的由上而下的仿真,分析等设计工作。为理论仿真和设计提供了方便。由于实验条件和实验经费的制约,本文的主要工作主要集中在FBAR理论的建模及器件的仿真设计,而不能通过样品来验证模型跟实际的吻合度,这是本论文的一个缺憾,然而本论文的理论推导,建模及仿真等准备工作将对日后的实际制备过程打基础。

以上为本篇毕业论文范文薄膜体声波谐振器的分析与设计的介绍部分。

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