基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究

搜索高级搜索

原创毕业论文

基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究

作者: 浏览:5次

免费专业论文
政治工作论文
计算机论文
营销专业论文
工程管理论文范文
医药医学论文范文
法律论文范文
生物专业论文
物理教学论文范文
人力资源论文范文
化学教学论文范文
电子专业论文范文
历史专业论文
电气工程论文
社会学专业论文
英语专业论文
行政管理论文范文
语文专业论文
电子商务论文范文
焊工钳工技师论文
社科文学论文
教育论文范文
数学论文范文
物流论文范文
建筑专业论文
食品专业论文
财务管理论文范文
工商管理论文范文
会计专业论文范文
专业论文格式
化工材料专业论文
英语教学专业论文
电子通信论文范文
旅游管理论文范文
环境科学专业论文
经济论文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
财务管理论文范文
物流论文范文
财务会计论文范文
数学教育论文范文
数学与应用数学论文
电子商务论文范文
法律专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文
计算机专业论文
教育管理论文范文
现代教育技术论文
小学教育论文范文
机械模具专业论文
报告,总结,申请书
心理学论文范文
学前教育论文范文

收费计算机专业论文范文

收费计算机专业论文
Delphi
ASP
VB
JSP
ASP.NET
VB.NET
java
VC
pb
VS
dreamweaver
c#.net
vf
VC++
计算机论文

毕业论文范文题目：基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究，论文范文关键词：基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究
基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：为满足微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)产业化及实验研究对表面形貌测量工具的需求,本文对垂直扫描白光干涉技术做了深入的研究,设计开发了一套基于Linnik干涉结构的扫描白光干涉三维表面形貌测量系统,具有长工作距离、快速、非接触及三维全场测量等（文章此处忽略..）特点,主要工作如下:基于一种新颖的LED准直方法,设计了一套扫描白光干涉表面形貌测量系统。研究了光源相干长度、光学系统分辨率及CCD分辨率。研究了目前白光干涉测量中的主要算法,重点研究了相移算法和基于采样定理的平方包络函数估计(SEST,Square-envelopfunctionEsti（文章此处忽略..）mationbySamplingTheory)快速处理算法。提出了在SEST算法中应用循环缓冲器定位相干区域的方法,进一步减少了数据存储量及计算量,提高了测量速度。对上述两种算法做了仿真研究,结果表明,光源的频谱宽度对相移算法和SEST算法的精度影响较大,同等条件下相移算法精度比SEST算（文章此处忽略..）法高,但是由于相移算法的采用间隔小,故测量速度比较慢。开发了一套扫描白光干涉三维表面形貌测量系统,可工作在相移干涉模式(PSI,Phase-ShiftInterferometry)和垂直扫描干涉模式(VSI,VerticalScanningInterferometry)下。在基于面向对象技术的V（此处忽略..）C++6.0集成开发环境下完成了系统软件的设计开发,编程实现了三步相移、五步相移及SEST等测量算法。提出了一种有效地存储表面形貌测量结果的文件格式。对美国VEECO公司的标准台阶做了测量,比较了不同处理算法下的测量结果,结果表明系统具有良好的可操作性和较高的测量精度。

以上为本篇毕业论文范文基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究的介绍部分。

本论文在计算机论文栏目，由论文网(www.zjwd.net)整理,更多论文,请点论文范文查找

相关论文

收费专业论文
汉语言文学论文
物理学论文
自动化专业论文
测控技术专业论文
历史学专业论文
机械模具专业论文
金融专业论文
电子通信专业论文
材料科学专业论文
英语专业论文
会计专业论文
行政管理专业论文
财务管理专业论文
电子商务国贸专业
法律专业论文
教育技术学专业论文
物流专业论文
人力资源专业论文
生物工程专业论文
市场营销专业论文
土木工程专业论文
化学工程专业论文
文化产业管理论文
工商管理专业论文
护理专业论文
数学教育专业论文
数学与应用数学专业
心理学专业论文
信息管理专业论文
工程管理专业论文
工业工程专业论文
制药工程专业论文
电子机电信息论文
现代教育技术专业
新闻专业论文
艺术设计专业论文
采矿专业论文
环境工程专业论文
西班牙语专业论文
热能与动力设计论文
工程力学专业论文
酒店管理专业论文
安全管理专业论文
交通工程专业论文
体育教育专业论文
教育管理专业论文
日语专业论文
德语专业论文
理工科专业论文
轻化工程专业论文
社会工作专业论文
乡镇企业管理
给水排水专业
服装设计专业论文
电视制片管理专业
旅游管理专业论文
物业管理专业论文
信息管理专业论文
包装工程专业论文
印刷工程专业论文
动画专业论文
环境艺术专业论文
信息计算科学专业
物流专业论文范文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文范文
法律专业论文范文
教育管理论文范文
小学教育论文范文
学前教育论文范文
财务会计论文范文

电子商务论文范文

上一篇：基于DSP芯片存储器技术研究与设计

下一篇：WiMAX系统中MIMO-OFDMA技术研究