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直流辉光放电电离特性的PIC/MCC模拟

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毕业论文范文题目：直流辉光放电电离特性的PIC/MCC模拟，论文范文关键词：直流辉光放电电离特性的PIC/MCC模拟
直流辉光放电电离特性的PIC/MCC模拟毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：随着微电子工业的发展,辉光放电技术的应用领域越来越广泛。作为产生等离子体的一种主要的方式,长期以来,国内外学者从多方面对辉光放电进行了研究,但其中对于辉光放电电离过程的研究较少。了解直流辉光放电的电离过程,能够更深入的了解辉光放电过程中粒子的输运特性,正确的模拟这一电离过程将对以后的实际应用起理论指导作用。本论文围绕直流辉光放电的理论分析与计算机模拟展开研究工作,主（文章此处忽略..）要工作和创新之处在于:(1)对直流辉光放电及等离子体源的理论、计算机模拟方面进行了综述对直流辉光放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟方法进行了综述、总结与对比,并对今后的研究前景进行了展望。特别指出了模拟直流辉光放电电离过程的重要意义及PIC/MCC(粒子模拟与蒙特卡罗相结合)方法在模拟直流辉光放电及其生成等离子体特性研究中的优势。(2)直流辉光放电电离过程的三维理论分析以通常的（文章此处忽略..）直流辉光放电系统为基础,建立了物理模型,对直流辉光放电进行了三维的理论分析,其中包括电势的求解、等离子体集体运动、粒子间的碰撞、带电粒子与边界的相互作用。考虑了电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞;离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞;碰撞截面均是能量的函数。模拟了电子到达边界后被边界吸收、反射及二次电子发射等情形。(3)直流辉光放电电离过程的三维PIC/MCC模拟在直流辉（文章此处忽略..）光放电电离过程的三维理论分析基础之上进行了数值模拟,用Fortran语言编写了三维的PIC/MCC模拟程序。采用有限差分法求解泊松方程,采用PIC方法中的静电模型描述带电粒子与电场自洽的相互作用,MCC方法描述粒子之间的碰撞过程及带电粒子与边界的相互作用,从而将PIC方法与MCC方法相结合,使得PIC模拟处理集体相互作用和MCC处理粒子碰撞优势得以兼顾。(4)直流辉光放电（本文此处忽略..）电离过程的诊断分析通过对直流辉光放电的PIC/MCC模拟,得到了大量的放电过程中关于带电粒子运动的微观信息,展现了放电过程中带电粒子的速度、能量等随时间、空间的演化;对直流辉光放电电离过程中电子与离子的相空间分布、速度分布、能量分布及自洽场电势分布等随时间演化的特性进行了诊断,模拟结果很好的解释了直流辉光放电等离子体的电离特性。

以上为本篇毕业论文范文直流辉光放电电离特性的PIC/MCC模拟的介绍部分。

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