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高精度镱薄膜高压力传感器的制备

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毕业论文范文题目：高精度镱薄膜高压力传感器的制备，论文范文关键词：高精度镱薄膜高压力传感器的制备
高精度镱薄膜高压力传感器的制备毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：镱是一种特种压阻材料,用其制作的薄膜传感器灵敏度高,响应速度快,可用于测量3GPa以下的冲击波压力在岩石、土壤及液体介质中的传播和衰减过程。镱传感器因其在弱动态压力下的高灵敏度,被认为是研究岩土爆炸力学的最佳传感器。此外,镱传感器还可用于激光维持爆轰、水下爆轰、静水高压等（文章此处忽略..）试验压力的测量,是国防工程急需的特种高压传感器。本文以聚酰亚胺薄膜为基片,采用直流磁控溅射工艺制作了低阻π型结构镱薄膜传感器,对薄膜的制备工艺进行了优化,在基板温度为180℃,溅射功率为120W的条件下得到了较好的薄膜质量。采用“埋入式”结构在600～700MPa压力范围内对传感器进行了动态加（此处忽略..）载实验。测试结果表明:相同工艺制备的传感器压阻系数一致性很好,其重复性误差仅为±0.85;不同工艺制备的传感器压阻系数一致性也较好,重复性误差≦±2.7%;单面封装的传感器响应最快可达80ns。在高真空环境中,对薄膜样品进行300℃,1小时的热处理,通过微观分析和电阻率测试,发现热处理前后的薄（略..）膜晶粒尺寸分别为206nm和220nm,薄膜电阻率分别为47.5μΩ·cm和41.3μΩ·cm,热处理工艺对薄膜晶粒尺寸无明显影响。实验发现,在PI基片上生长的薄膜不是柱状结构,与Al2O3基片上的结构不同。初步探索了高阻型传感器的制备工艺,试制出了镱薄膜刻蚀液,在20℃下的最佳配方为1:30(体积比)的盐酸-（本文此处忽略..）无水乙醇混合溶液。利用丝网印刷技术在PI柔性基片上涂覆光刻胶,解决了传统的旋涂法在柔性薄膜基底上涂胶的困难。利用光刻工艺结合掩模漏版溅射技术制作出了50?高阻型镱薄膜传感器。

以上为本篇毕业论文范文高精度镱薄膜高压力传感器的制备的介绍部分。

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