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大面积PCB投影扫描式激光曝光机的研制

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毕业论文范文题目：大面积PCB投影扫描式激光曝光机的研制，论文范文关键词：大面积PCB投影扫描式激光曝光机的研制
大面积PCB投影扫描式激光曝光机的研制毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：随着电子产品对大面积、高精度成像的需求,对印制电路板的设计与制造的要求也越来越高。这也推动了PCB生产所需的曝光设备的研制。同时,对制造成本的持续压力,要求设备在满足其性能需要的同时也要降低成本。可以通过提高生产量、使用传统光致抗蚀剂等关键因素。（文章此处忽略..）传统的PCB曝光工具所存在的缺陷逐渐暴漏出来：基板尺寸有限、产量低、接缝误差大,精度低,效益差,成本高等等。一种新型的激光投影成像(LPI)曝光应运而生,取代了传统的汞灯曝光,采用351nm的XeF准分子激光作为其光源。并且这种曝光是用传统的光致抗蚀剂,传（此处忽略..）统的融石英玻璃掩模版。基于LPI系统理论,我们研制了激光光刻设备,只要我们调整好合适的参数,该设备能够实现在460mm×610mm基板区域内大面积曝光,并达到10μm的分辨力。它消除了当前光刻设备的限制。它的优势是可以在PCB制造中马上得到应用而不需要对目前的光（此处忽略..）刻胶还有光刻工艺做任何改变。该设备由四个主要的部分组成：波长为351nm、单脉冲能量为120mJ的XeF准分子激光器；数值孔径为0.02、均匀性达到5%以内的光学照明系统；数值孔径为0.025的双远心光学投影系统；控制掩模版和基板同时扫描直到基板完成成像的X-Y精密移动工作台（本文此处忽略..）。本文描述了曝光机的结构,曝光光学设计参数和机械设计加工,分析了光学和机械匹配存在的问题和合理的技术方案。最后,在设定不同条件下,在激光投影曝光机上进行曝光实验,得到最优的曝光参数。

以上为本篇毕业论文范文大面积PCB投影扫描式激光曝光机的研制的介绍部分。

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