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GaN LED器件外延膜的激光剥离的研究

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毕业论文范文题目：GaN LED器件外延膜的激光剥离的研究，论文范文关键词：GaN LED器件外延膜的激光剥离的研究
GaN LED器件外延膜的激光剥离的研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：GaN及其化合物是直接带隙半导体材料,它的禁带宽度从1.9eV～6.2eV持续可调,发光范畴覆盖了从红色到紫外的光谱,GaN材料是一种幻想的短波长发光材料。它重要用于制造蓝、紫、紫外发光二极管(LED),激光器(LD)、紫外(UV)光电探测器等光电子器件。GaN跟Si之间的晶片键合跟激光剥离工艺可能很便利的实现不同材料的集成,为GaN（文章此处忽略..）基材料的外延成长、器件的工艺制造提供一个新的研究方向。本文利用键合跟激光剥离技巧,实现了φ2英寸GaNLED器件外延薄膜的激光剥离,并且实现蓝宗石衬底的从新利用。通过实际打算优化激光剥离的参数,利用衬底加热的方法实现降落阈值密度疾速的激光剥离。目前国内外还不这样的报道。并获得了以下的研究成果。(1)实现2英寸GaNLED外延（文章此处忽略..）膜的大面积完全剥离,剥离后的名义非常完全,不裂纹。剥离后的样品保存了InGaN/GaN有源层构造。剥离后名义毛糙度增大,一方面是因为在剥离过程中GaN薄膜的热分解引起的;另一方面是因为剥分开的名义本来与蓝宝石相连,蓝宝石跟GaN的晶格失配较大。(2)在剥离掉的蓝宝石(α-A1_2O_3)衬底上成功的外延成长InGaN/GaNMQW（此处忽略..）＇sLED器件构造,实现了蓝宝石衬底的反复利用,并与同一成长前提下有蓝宝石衬底上的GaNLED对比。对比成果表明,剥离掉的蓝宝石衬底上从新成长的GaNLED外延膜比较后者,PL峰值波长产生蓝移,这是因为外延成长前对剥离掉的蓝宝石进行正面抛光处理,衬底正面抛光使GaNLED外延膜应力产生开释。(3)实际上分析压了强跟GaN（本文此处忽略..）分解温度的关联,提出一种可能通过降落气压实现疾速、低功率激光剥离GaN基外延膜的方法。(4)通过加热衬底温度,减小激光剥离的阈值功率密度,放大光斑,实现疾速的激光剥离。本论文得到国度天然科学基金60276029跟福建省天然科学基金A0210006的赞助。

以上为本篇毕业论文范文GaN LED器件外延膜的激光剥离的研究的介绍部分。

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