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HFCVD制备非晶碳薄膜及其润湿性的研究

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毕业论文范文题目:HFCVD制备非晶碳薄膜及其润湿性的研究,论文范文关键词:HFCVD制备非晶碳薄膜及其润湿性的研究
HFCVD制备非晶碳薄膜及其润湿性的研究毕业论文范文介绍开始:
【论文摘要】:润湿机能是固体名义的重要特点之一,无论在人们的日常生活还是在工农业出产中它都发挥侧重要的作用,如防雪﹑防传染﹑抗氧化跟避免电传播导等,存在特别润湿机能的材料始终是人们关注的热点。作为一种经济实用并且环境友爱的光电器件材料,非晶碳薄膜因其众多精良的特点而引起广泛研究兴趣。因此,辅之以特别的润湿机能,非晶(文章此处忽略..)碳薄膜必将发挥更大的上风。本文采取热丝帮助化学景象沉积体系(HFCVD),通过改变沉积工艺参数来把持非晶碳薄膜的成长,在单晶硅衬底上制备了不同厚度的薄膜跟存在不同微观形貌的名义,体系地研究了各制备参数对非晶碳薄膜的沉积速率、名义形貌及润湿机能的影响。本文重要的研究工作如下:1.通过改变工艺参数制备了存在不同(略..)厚度的非晶碳薄膜,发明跟着衬底温度、工作气压跟CH4的浓度的增加其沉积速率单调递增,尤其是衬底温度,对其沉积速率影响最大。2.通过改变工艺参数制备了存在不同名义微观形貌的非晶碳薄膜,发明气体流量组成跟工作气压对其名义形貌的影响不大,而衬底温度对其名义形貌影响却非常大,能从光滑平坦变到存在丰富的孔隙跟极其精(本文此处忽略..)巧的皱褶的复杂构造,非常类似于天然界中荷叶的名义微观构造,存在更大的吸附跟包容气体的才能,从而存在更强的名义润湿机能。3.对存在不同名义微观形貌的非晶碳薄膜的润湿机能进行了研究,发明气体流量组成跟工作气压对其名义的润湿机能影响不大,而仅仅通过改变衬底温度,就可能使非晶碳薄膜名义的润湿机能从非常亲水(接触角(此处忽略..)为16~o)到非常疏水(接触角为143~o)大范畴的变动,跟着沉积时光的增加其接触角先增加而后趋势牢固。4.最后研究了CF_4等离子名义处理对非晶碳薄膜润湿性的影响,发明薄膜经过名义处理后,其接触角大幅度进步,本来接触角为83~o的亲水名义变为疏水名义,其接触角增加到135~o。


以上为本篇毕业论文范文HFCVD制备非晶碳薄膜及其润湿性的研究的介绍部分。
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