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1.55微米激光MEMS扫描外差干涉仪研究

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1.55微米激光MEMS扫描外差干涉仪研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：随着科技的发展,人们对加工和测量的精度要求越来越高,亚微米到纳米精度的测量已经成为目前工业发展和科学发展中迫切需要解决的问题。激光外差干涉测量具有非接触损伤、信号噪声小、响应速度快、测量范围大、信噪比（略..）高、能够克服方向模糊且不受光强变化影响等优点,得到广泛的研究和应用。理论上推导了平衡式外差接收的数学模型,具体研究了平衡式外差接收系统的信噪比与光纤分束器分束比之间的关系,通过进行MATLAB数值仿真（文章此处忽略..）从理论上验证了平衡式外差接收在抑制本振噪声方面的技术优势。分析了光学扫描的基本原理及其对系统的基本要求。建立了引起激光外差干涉仪非线性误差的理论模型,通过分析并推导得出声光移频器频率混叠、激光束椭圆偏（此处忽略..）振、偏振分束棱镜频率泄露与旋转误差,偏振器非理想特性等因素引起的非线性误差表达式,利用MATLAB仿真非线性误差在各种条件下的变化曲线,通过分析和讨论得出了各因素对激光外差干涉仪非线性误差的影响大小及（本文此处忽略..）其表现形式:光学元件的非理想主要表现为实际相位的一次或二次谐波。最后利用实验室已有的元件和仪器,设计并搭建了一套半自由空间,半光纤通路的1.55微米扫描外差干涉仪系统,获得了单点与扫描实验结果。

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