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阵列式硅压力加速度传感器研究

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毕业论文范文题目：阵列式硅压力加速度传感器研究，论文范文关键词：阵列式硅压力加速度传感器研究
阵列式硅压力加速度传感器研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：本论文主要研究了阵列式压力加速度传感器的基本原理、结构设计及制作工艺技术等。还讨论了信号处理电路、非线性自校正、温度漂移自补偿及数据融合等技术。论文首先以硅压阻效应（文章此处忽略..）原理为基础，讨论了阵列式硅压力、加速度传感器的设计原理，并对阵列式硅压力、加速度传感器中集成敏感芯片(压力、加速度)、总体结构和压力阵列的信号处理电路进行了设计，在阵列（本文此处忽略..）式硅压力、加速度传感器的研制中，还研究了半导体平面工艺、大规模集成电路技术、微机械加工技术(硅硅键合、静电封接、各向异性腐蚀)等关键技术的应用。压力阵列微型化设计、压力（略..）阵列与外围电路的集成化设计是技术关键，文中作了较详细的论述。论文采用查表法和曲线拟合法实现了对阵列式硅压力、加速度传感器的非线性自校正；采用多段折线逼近方法和曲线拟（此处忽略..）合法完成了对阵列式硅压力、加速度传感器温度漂移误差的补偿；采用二维回归分析法对传感器进行了数据融合。为传感器系统向实用化提供了具有参考价值的方法和方向。

以上为本篇毕业论文范文阵列式硅压力加速度传感器研究的介绍部分。

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