基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测

搜索高级搜索

原创毕业论文

基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测

作者: 浏览:4次

免费专业论文
政治工作论文
计算机论文
营销专业论文
工程管理论文范文
医药医学论文范文
法律论文范文
生物专业论文
物理教学论文范文
人力资源论文范文
化学教学论文范文
电子专业论文范文
历史专业论文
电气工程论文
社会学专业论文
英语专业论文
行政管理论文范文
语文专业论文
电子商务论文范文
焊工钳工技师论文
社科文学论文
教育论文范文
数学论文范文
物流论文范文
建筑专业论文
食品专业论文
财务管理论文范文
工商管理论文范文
会计专业论文范文
专业论文格式
化工材料专业论文
英语教学专业论文
电子通信论文范文
旅游管理论文范文
环境科学专业论文
经济论文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
财务管理论文范文
物流论文范文
财务会计论文范文
数学教育论文范文
数学与应用数学论文
电子商务论文范文
法律专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文
计算机专业论文
环境艺术专业论文
信息计算科学专业
物流专业论文范文
人力资源论文范文
教育管理论文范文
现代教育技术论文
小学教育论文范文
机械模具专业论文
报告,总结,申请书
理工科专业论文
心理学论文范文
学前教育论文范文

毕业论文范文题目：基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测，论文范文关键词：基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测
基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：接触式电容压力传感器(TMCPS)与其它类型压敏器件相比有着明显的优点,例如较好的线性,高的灵敏度和大的过载保护能力等。它在工业生产、医疗卫生、军事及科学研究等众多领域有着广泛的应用。目前国内对基于微机电系统(MEMS)的电容压力传感器的研究还很不成熟,过分依赖进口的情况制约了科（本文此处忽略..）学技术的发展。因此,开发出一种实用的基于MEMS技术的具有高灵敏度和高度线性的压力传感器已经成为传感器研究中亟待解决的问题。为了达到更好的性能,本文设计了双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。文中应用小变形理（文章此处忽略..）论和有限元法分别对膜片的变形进行了分析。分析结果表明,DTMCPS为解决不能同时获得高灵敏度和大线性范围的矛盾提供了一种有效的途径。与现有的接触式电容压力传感器相比,这种结构可以在保持高灵敏度的前提下实现更大的线性范围。另一方面,传感器的结构没有使加工工艺复杂化,从而没有（此处忽略..）明显地增加加工成本。本文在理论分析基础上设计了传感器的结构及加工工艺流程。传感器的结构建立在SOI材料上,在关键工艺中采用硅熔融键合技术。在加工中,仅使用了三块光刻用的掩膜板,简化了加工过程。为了检测传感器的性能,本文研究了电容式压力传感器的信号处理问题。在分析了包括谐振（此处忽略..）式、电桥式、运算放大器式、脉冲式、振荡器式等微电容测量电路的基本原理及特点之后。着重针对基于运算放大器原理的电路进行了具体的设计和加工。它包括一个全波整流电路和正弦信号源。最后,本文测试了传感器样本的性能,分析了测试结果中误差产生的原因并提出了改进方案。

以上为本篇毕业论文范文基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测的介绍部分。

本论文在医药医学论文栏目，由论文网(www.zjwd.net)整理,更多论文,请点论文范文查找

收费专业论文
汉语言文学论文
物理学论文
自动化专业论文
测控技术专业论文
历史学专业论文
机械模具专业论文
金融专业论文
电子通信专业论文
材料科学专业论文
英语专业论文
会计专业论文
行政管理专业论文
财务管理专业论文
电子商务国贸专业
法律专业论文
教育技术学专业论文
物流专业论文
人力资源专业论文
生物工程专业论文
市场营销专业论文
土木工程专业论文
化学工程专业论文
文化产业管理论文
工商管理专业论文
护理专业论文
数学教育专业论文
数学与应用数学专业
心理学专业论文
信息管理专业论文
工程管理专业论文
工业工程专业论文
制药工程专业论文
电子机电信息论文
现代教育技术专业
新闻专业论文
热能与动力设计论文
教育管理专业论文
日语专业论文
德语专业论文
轻化工程专业论文
社会工作专业论文
乡镇企业管理
给水排水专业
服装设计专业论文
电视制片管理专业
旅游管理专业论文
物业管理专业论文
信息管理专业论文
包装工程专业论文
印刷工程专业论文
动画专业论文
营销专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文范文
法律专业论文范文
教育管理论文范文
小学教育论文范文
学前教育论文范文
财务会计论文范文

电子商务论文范文

上一篇：无线传感器网络汇聚节点硬件设计..

下一篇：物联网环境中的身份认证技术研究