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微流控芯片中功能化器件的制备研究

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毕业论文范文题目：微流控芯片中功能化器件的制备研究，论文范文关键词：微流控芯片中功能化器件的制备研究
微流控芯片中功能化器件的制备研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：1990年，瑞士科学家的Manz跟Widmer首次提出了微全分析体系（MiniaturizedTotalAnalysisSystems，μTAS）的概念，并以样品分析跟测试集成化、微型化为目标发展起来，微流控芯片同时成为微全分析体系发展的热点范畴。跟着人们对该项技巧的全面认知，该项前沿技巧的发展已经得到全世界的凝视,引起了学术界、产业界的广泛器重。正因为微流控芯片的诸多上风，使得微流控芯片在化学、物理、医学、机械等范畴有着广泛的利用，对科技发展进步产生重大影响。跟着微流控芯片的（此处忽略..）发展，人们对微流控芯片的材料、构造、机能有了更高的请求，盼望微流控芯片有更好的生物兼容性，更高的通量，更高的集成度，更复杂的三维破体构造，而利用传统的湿法腐化、电子束刻蚀、X射线衍射刻蚀、软光刻、原位成型法、注塑成型LIGA技巧等技巧制造微流控芯片工艺是不可能满意的，甚至是无奈实现三维微流控芯片的制造的。跟着微电子技巧的发展，微机电体系的尺寸已经达到微米尺寸，人们已经开端关注更精巧的尺寸，更复杂的成果，甚至是三维构造，飞秒激光微纳加工技巧的呈现得到了广大学术工作者的关注（略..）与青眼。利用飞秒激光微纳加工技巧对微流控芯片进行“二次加工”，可能实现部分三维微流控芯片微通道的制造。飞秒激光微纳加工技巧在微流控芯片新功能集成、芯片修补、芯片优化等方面有着宏大的潜在上风及可行性。实验中，咱们利用传统湿法腐化技巧制造了形貌良好、深宽比适中的十字穿插图案微流控芯片用于“二次加工”制备微流控芯片功能化器件——聚合物(SU-82075)分流器，实现彼此连通的微通道的液体流动互不影响的功能，以达到三维微流控芯片制造的目标。首先利用氢氟酸缓冲液HF：NH_4F：超纯水=3mL：20g（文章此处忽略..）：30mL腐化金属保护层掩膜的K9玻璃得到宽80微米、深20微米的十字穿插微通道，控制了氢氟酸缓冲液腐化玻璃的基本原理，得到了利用退火工艺步骤以进步金属保护层粘附性对成功制造微流控芯片至关重要的论断。利用本实验室自行搭建的飞秒激光微纳加工体系将飞秒激光聚焦在微流控芯片微通道上光刻胶中引发双光子聚合，从微通道十字穿插地位进行加工聚合物分流器，把持通道内全部加工过程由CCD摄像头实时监控，激光焦点按照提前输入电脑把持程序的分流器点数据逐点逐层扫描实现微加工。“二次加工”后的微流控芯片封装（此处忽略..）测试成功验证聚合物分流器的功能，罗丹明B乙醇溶液及亚甲基蓝乙醇溶液可能同时通过聚合物分流器，完全互不影响，实现了制造三维微流控芯片的目标。飞秒激光微纳加工技巧在微流控芯片范畴中的利用才刚开端，鉴于飞秒激光微纳加工技巧优良的特点，及加工三维微纳器件的可设计性、可控性等特点，利用其可能制备微流控芯片中功能化单元，展示宏大的利用潜力跟诱人的发展前景。咱们信赖飞秒激光微纳加工技巧对微流控芯片更高品位的发展必将有着凸起的奉献。

以上为本篇毕业论文范文微流控芯片中功能化器件的制备研究的介绍部分。

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