基于双重驱动技巧的三维纳米定位体系的研制

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基于双重驱动技巧的三维纳米定位体系的研制

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毕业论文范文题目：基于双重驱动技巧的三维纳米定位体系的研制，论文范文关键词：基于双重驱动技巧的三维纳米定位体系的研制
基于双重驱动技巧的三维纳米定位体系的研制毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：跟着科学技巧的发展,航天技巧、微电子工程、计量科学与技巧、光学与光电子工程、精巧工程、生物工程、纳米科学与技巧等范畴急切须要纳米定位技巧。纳米定位技巧己成为前沿科学、工程技巧范畴的关键技巧之一。纳米定位技巧是一个跨学科的技巧,它波及到光学、机械、电子、物理学、主动化、打算机等很多范畴的常识。目（本文此处忽略..）前,在材料科学研究范畴、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘察、刑事侦查、冶金等范畴均广泛利用了SEM(扫描电子显微镜),TEM(透射电子显微镜)及FIB(聚焦离子束电子显微镜)等设备。这些设备就比如通向微观世界的眼睛,人们可能通过他们直接观测到样品的微观信息。但跟着各范畴研究的始终深刻,仅仅“看”到这（文章此处忽略..）些微观信息已经不能满意研究人员的须要了。在更多情况下,人们盼望电镜中有一双“手”,来实现对被测物体的把持(如挪动、定位、加工)跟测量(如三维形貌测量、电学测量、力学测量等)。这种微纳米量级的把持跟测量岂但请求把持工具存在非常高的活动辨别率,而且要有精巧的作使劲把持功能,以避免在把持样品的过程中破坏样品（本文此处忽略..）。可见,纳米科学与技巧的发展依附纳米定位技巧的发展。针对上述情况,本文研制了一款采取双重驱动技巧的三维纳米定位体系。该体系以微处理器C8051F340为把持核心,以四分压电陶瓷为微位移驱动,以超声波马达为宏位移驱动,结合由高压精巧运算放大器PA86与高速D/A转换器AD5362构成的微驱动跟由D/A转换器AD667与AB1A驱（文章此处忽略..）动器构成的宏驱动,达到了纳米级的定位。体系机能牢固、工作坚固、定位误差小、精度高,可能实现三维空间的准断定位,定位精度可达2nm。本文分析了基于双重驱动的三维纳米定位体系工作原理,介绍了体系硬件构造、软件设计,并给出了体系框图及测试数据。

以上为本篇毕业论文范文基于双重驱动技巧的三维纳米定位体系的研制的介绍部分。

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