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用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究

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毕业论文范文题目：用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究，论文范文关键词：用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究
用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：类金刚石膜(DLC)是一种由sp2和sp~3键构成非晶碳膜。由于与金刚石膜具有相似的优异性能,具有高硬度、摩擦系数低、良好的光学性能和化学稳定性、较高的电阻率以及良好的生物相容性等优点而受到人们的关注,已广泛应用于力学、光学、医学、电学、热学、声学和生物学等领域,是一种近年来得到许多领域广泛重视并迅速发展的新型功能材料。类金刚（文章此处忽略..）石薄膜因具有优异的气体阻隔性能和优异的光学性能,使其有望成为一种新型的用于OLED柔性显示和柔性照明的气密性封装材料。本论文根据OLED显示和照明对气密性封装材料的要求,对采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备类金刚石薄膜的工艺进行了探索性研究。本文首先对混合气体比、工作压强、等离子体能量、射频功率和沉积时间等工（本文此处忽略..）艺参数对薄膜的光学性能和阻隔性能的影响进行了研究。使用椭圆偏振仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)以及拉曼光谱等测试手段对薄膜的膜厚、折射率、表面形貌和微观结构、结晶情况和透过率、气体阻隔性能等性能进行了分析。测试结果表明:沉积时间与DLC薄膜的厚度呈现线性关系,DLC薄膜的厚度越厚,颜色越深,透光率越低。当功率较低时（文章此处忽略..）,DLC膜整体均匀致密,膜内sp~3含量较低,镀膜后的光透过率也有较大提升;随着功率升高,sp~3含量增多,整体透光率先增大后减小;当功率较高时,会导致沉积速率过高,薄膜表面不平整,形成的sp~3含量减少。随着气体总量的增加,薄膜的孔隙率先减小后增大,透光率整体是下降趋势,但在紫外波段显示为先降低后增加。随着极板间距的增加,（略..）透光率整体呈现增大。使用PECVD法制备的DLC膜,均呈现典型的非晶结构。选取衬底平整光滑的PET对制备薄膜的水汽渗透率有很大影响,实验制得薄膜230nm时水汽渗透为0.58g/m2?day。由实验结果可知,膜厚约为100nm的DLC薄膜在可见光波段的透光率满足OLED对光学性能的要求。

以上为本篇毕业论文范文用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究的介绍部分。

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