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一维硅纳米材料的制备跟表征

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毕业论文范文题目:一维硅纳米材料的制备跟表征,论文范文关键词:一维硅纳米材料的制备跟表征
一维硅纳米材料的制备跟表征毕业论文范文介绍开始:
【论文摘要】:近年来,准一维纳米材料因为其精良的电学跟光学机能以及在介观跟纳米器件研究范畴的宏大利用价值,引起了越来越多的研究跟关注。因为硅材料在半导体产业跟微电子制造技巧范畴的重要地位以及其成熟的加工工艺,硅的一维纳米构造被认为有望成为将来微电子跟光电子器件的基本。迄今为止,已经有多种基于硅纳米线的原型纳米器件被制备出来。这一事实阐明,硅的一维纳米构造可能会(本文此处忽略..)为将来“自下而上”的纳电子制造产业提供幻想的器件基本单元。本文通过化学气相沉积(CVD)法,利用氧化铝模板制备出了阵列化的硅纳米线;在硅衬底上制备出了取向成长的硅微米棒、硅纳米线以及少量的硅纳米链球构造;采取热蒸发法在真空下得到了硅的纳米枝状构造,在多种金属催化剂覆盖的硅衬底上得到了大量的硅纳米线构造;在镀金硅衬底上得到了硅纳米链球构造跟分支状的硅纳(略..)米线构造;此外硅的纳米螺旋构造也用这种方法制备出来。对上述制备的样品利用透射电镜(TEM)、选区电子衍射(SAED)、场发射扫描电镜(FESEM)、能谱仪(EDX)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)等测试手段进行相应的分析跟表征。并进一步对产物的构成机理进行了探讨跟阐述。论文中重要的研究成果总结如下:采取化学气相沉积法,利用硅烷作为前驱体,在镀金的硅衬底上制(此处忽略..)备出了取向成长的硅微米棒;通过把持H_2在载气中的比例在镀金的硅衬底上得到了直径可控的大量单晶硅纳米线。通过二次阳极氧化法制备出存在有序排列纳米孔的NCA氧化铝模板,之后通过在双面通孔的其中一端用磁控溅射方法镀金,再由CVD方法硅烷分解沉积而得到高度阵列化排列的纳米硅线构造。研究了改变H_2比例影响硅纳米线直径的成长机理,并提出了相应的物理模型。当载(此处忽略..)气中的H_2含量较小时,液滴跟硅衬底的接触角较小,终极导致直径较粗的纳米线的构成;而加大H_2含量增加了液滴的名义张力,使得接触角也变大,导致终极成长出来的硅纳米线直径较小。采取热蒸发法,利用SiO粉末作为前驱体,在低压无载气的前提下制备出了硅的枝状纳米构造;将热蒸发法跟金属催化剂相结合,分辨在镀有不同金属催化


以上为本篇毕业论文范文一维硅纳米材料的制备跟表征的介绍部分。
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