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X射线超反射镜的设计、制备与检测

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毕业论文范文题目：X射线超反射镜的设计、制备与检测，论文范文关键词：X射线超反射镜的设计、制备与检测
X射线超反射镜的设计、制备与检测毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：近年来，随着多层膜技术的深入发展，多层膜反射镜已在软X射线天文望远镜，软X射线显微术，X射线投影光刻，同步辐射，等离子体诊断等许多领域内成功的获得了应用。但这些多层膜基本上工作在极紫外和软X射线波段。随着科学技术发展的（略..）需要，人们迫切需要在硬X射线波段建立相应的光学元件，拓展X射线光学元件的应用范围。有鉴与此，我们在国内率先展开了硬X射线波段光学元件——X射线超反射镜的研究。本文从材料在硬X射线波段的光学特性出发，讨论了X射线超反射镜（略..）的设计方法：X射线多层膜的材料选择以及膜层数的确定；X射线多层膜光学性能的模拟计算，讨论了表界面粗糙度对反射镜反射率的影响；讨论了对宽带(角度和带宽)多层膜结构进行数值优化的方法，采用理论解析法与数值优化的方法相结合，成功（略..）设计出了工作在Cu的Kα处的C／W超反射镜结构。从光学多层膜的制备方法出发，本文选择使用磁控溅射的方法作为X射线超反射镜的制备。在原来的膜厚控制方法基础上，在溅射速率定标过程中，引入了误差因子，提高了定标精度；经过大量（此处忽略..）的实验研究，确定了较佳的工作参数，制备出了W／C超反射镜。本文采用了X射线小角衍射的方法测量了超反射镜的光学性能，反射镜的反射率曲线与理论计算结果符合较好，完全满足实际需要。本文得到国家自然科学基金的资助。

以上为本篇毕业论文范文X射线超反射镜的设计、制备与检测的介绍部分。

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