感应耦合等离子体非线性效应的流体模仿研究

搜索高级搜索

原创毕业论文

感应耦合等离子体非线性效应的流体模仿研究

作者: 浏览:4次

免费专业论文
政治工作论文
计算机论文
营销专业论文
工程管理论文范文
医药医学论文范文
法律论文范文
生物专业论文
物理教学论文范文
人力资源论文范文
化学教学论文范文
电子专业论文范文
历史专业论文
电气工程论文
社会学专业论文
英语专业论文
行政管理论文范文
语文专业论文
电子商务论文范文
焊工钳工技师论文
社科文学论文
教育论文范文
数学论文范文
物流论文范文
建筑专业论文
食品专业论文
财务管理论文范文
工商管理论文范文
会计专业论文范文
专业论文格式
化工材料专业论文
英语教学专业论文
电子通信论文范文
旅游管理论文范文
环境科学专业论文
经济论文
人力资源论文范文
营销专业论文范文
财务管理论文范文
物流论文范文
财务会计论文范文
数学教育论文范文
数学与应用数学论文
电子商务论文范文
法律专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文
计算机专业论文
环境艺术专业论文
信息计算科学专业
物流专业论文范文
人力资源论文范文
教育管理论文范文
现代教育技术论文
小学教育论文范文
机械模具专业论文
报告,总结,申请书
理工科专业论文
心理学论文范文
学前教育论文范文

毕业论文范文题目：感应耦合等离子体非线性效应的流体模仿研究，论文范文关键词：感应耦合等离子体非线性效应的流体模仿研究
感应耦合等离子体非线性效应的流体模仿研究毕业论文范文介绍开始：
【论文摘要】：感应耦合等离子体存在低气压、高密度以及均匀性好等长处,在半导体系造产业中得到了广泛的利用。低气压低频率感应耦合等离子体源往往存在高效力、高均匀性跟能在较大面积产生较高等离子体密度等长处。同时,感应耦合等离子体在低气压、低频率的时候往往会呈现一些非线性效应,如谐波效应跟模式转化效应。这些效应的（此处忽略..）呈现往往会影响等离子体刻蚀等工艺的实际过程。因此,研究感应耦合等离子体的非线性效应显得非常重要。本文树破了模仿感应耦合等离子体中谐波效应的自洽模型,电磁场的求解采取时域有限差分(FDTD)的方法。等同离子体电流密度、等离子体电势、沉积功率、电子温度跟电子密度等参量进行了研究。成果表明：在低频情况（略..）下,非线性洛伦兹力会影响等离子体电流密度跟等离子体电势,产生谐波效应。同时当考虑洛伦兹力时,等离子体电流密度跟等离子体电势的偶次谐波分量弘远于奇次谐波分量。另外,模仿发明,当考虑洛伦兹力时,因为非线性洛伦兹力的作用,沉积功率密度略微降落,并且穿透深度略有增加。另外,当有洛伦兹力作用时,电子密（略..）度明显增加,而电子温度则基本与不洛伦兹力的情况保持一致。本文还对感应耦合等离子体中模式转化效应进行了模仿研究,同样采取时域有限差分的方法树破自洽模型。模仿成果表明：跟着线圈电流的增加,容性功率先增加后降落,感性功率始终增加,放电模式由E模式转化到H模式,在这一过程中伴跟着电子密度的增加。另外（此处忽略..）本文还对放电模式转化过程中的不同电场分量以及等离子体温度跟密度进行了分析,分析表明,跟着线圈电流的增加,径向电场逐步降落,轴向电场开端基本保持不变,而后忽然降落,角向电场逐步增加；电子温度的大小跟形貌则跟着不同场的作用而产生较大的变更；电子密度逐步增大并且其峰值向介质窗附近挪动。

以上为本篇毕业论文范文感应耦合等离子体非线性效应的流体模仿研究的介绍部分。

本论文在免费论文栏目，由论文网(www.zjwd.net)整理,更多论文,请点论文范文查找

收费专业论文
汉语言文学论文
物理学论文
自动化专业论文
测控技术专业论文
历史学专业论文
机械模具专业论文
金融专业论文
电子通信专业论文
材料科学专业论文
英语专业论文
会计专业论文
行政管理专业论文
财务管理专业论文
电子商务国贸专业
法律专业论文
教育技术学专业论文
物流专业论文
人力资源专业论文
生物工程专业论文
市场营销专业论文
土木工程专业论文
化学工程专业论文
文化产业管理论文
工商管理专业论文
护理专业论文
数学教育专业论文
数学与应用数学专业
心理学专业论文
信息管理专业论文
工程管理专业论文
工业工程专业论文
制药工程专业论文
电子机电信息论文
现代教育技术专业
新闻专业论文
热能与动力设计论文
教育管理专业论文
日语专业论文
德语专业论文
轻化工程专业论文
社会工作专业论文
乡镇企业管理
给水排水专业
服装设计专业论文
电视制片管理专业
旅游管理专业论文
物业管理专业论文
信息管理专业论文
包装工程专业论文
印刷工程专业论文
动画专业论文
营销专业论文范文
工商管理论文范文
汉语言文学论文范文
法律专业论文范文
教育管理论文范文
小学教育论文范文
学前教育论文范文
财务会计论文范文

电子商务论文范文

上一篇：火灾下门式刚架构造的非线性有限..

下一篇：多变量体系的直接型模型参考自适..